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实用新型
一种VGF晶体炉支撑装置失效

公开(公告)号：CN205275774U

公开(公告)日：2016-06-01

申请号：CN201521068346.1

申请日：2015-12-21

申请人： 有研光电新材料有限责任公司

发明人： 刘春雷 , 于洪国 , 龙彪 , 时彬 , 张海涛 , 周晓霞 , 岳云雷 , 赵静敏

IPC分类号： C30B11/00

摘要： 本实用新型公开了一种VGF晶体炉支撑装置，该支撑装置为一金属支架，由三根等长的支撑柱及连接在支撑柱两端的相互平行的等边三角形构成；其中所述三角形的外切圆直径略小于晶体炉炉膛内径且大于保温筒的石英支撑管的外径，所述三根支撑柱的横截面直径分别为2cm。本实用新型的支撑装置可以升降石英生长管，有利于石英生长管的放入、取出、升降等操作，而不改变晶体炉的温场等条件。本实用新型的支撑装置使得石英生长管的操作简单易行，安全性高，实用性强。