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公开(公告)号：CN109650749A
公开(公告)日：2019-04-19
申请号：CN201811470987.8
申请日：2018-12-04
申请人： 有研光电新材料有限责任公司
摘要： 本发明实施例公开了一种石英舟表面处理的方法，包括以下步骤：将镓液体倒入石英管内，加热到35℃-40℃，去除镓液体表面上的氧化膜；将若干个喷砂打毛处理后的石英舟浸没于镓液内；抽真空2-5分钟；将保护气体充入所述石英管内，将镓液升温至1230℃-1260℃，恒温保持2-3小时，即得内壁形成α-方石英球晶体的石英舟。经过表面处理后的石英舟在拉制砷化镓单晶的过程中，能有效避免砷化镓与石英舟内表面、上表面生长过程中浸润的问题，使得砷化镓单晶背面具有与正面相同的镜面光泽，有效避免石英舟与砷化镓单晶的粘结现象，避免了粘结对砷化镓单晶生长的影响。
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公开(公告)号：CN105803515A
公开(公告)日：2016-07-27
申请号：CN201410839945.2
申请日：2014-12-29
申请人： 有研光电新材料有限责任公司
摘要： 一种VGF砷化镓单晶生长新工艺，包括以下步骤：将砷化镓多晶、籽晶装入PBN坩埚中，放入石英管内抽真空后密封；用1.5小时加热升温到第一区1220℃、第二区1230℃、第三区1233℃、第四区1235℃、第五区1225℃、第六区1222℃，然后保温1小时；加热升温到第三区1253℃，然后保温2小时；加热升温到第三区1262℃、第四区1244℃、第五区1225℃，然后保温1.5小时；然后放肩并等径生长收尾。本发明VGF砷化镓单晶生长新工艺可以大大缩短升温化料和接籽晶的时间，从而提高整个工艺的生产效率。
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公开(公告)号：CN210736954U
公开(公告)日：2020-06-12
申请号：CN201920744359.8
申请日：2019-05-22
申请人： 有研光电新材料有限责任公司
摘要： 本实用新型涉及一种高纯镓的脱氧及杂质去除装置，包括单侧开口的石英管、用于盛放待提纯镓的石英舟、真空法兰和两端均开口的两座可移动式高温加热炉，石英舟位于石英管内，真空法兰与石英管的开口固定连接，两座可移动式高温加热炉分别套于石英管的外部两端。本实用新型的高纯镓的脱氧及杂质去除装置，炉膛高温下使反应管内高纯镓的氧化物及部分挥发性杂质由固态转化为气态的形式挥发除去，从而避免高纯镓中的氧和其它杂质在砷化镓多晶合成时进入晶体内部，有效解决砷化镓单晶中氧及杂质的掺入，提高晶体电学性能。
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公开(公告)号：CN215394461U
公开(公告)日：2022-01-04
申请号：CN202120418414.1
申请日：2021-02-25
申请人： 有研光电新材料有限责任公司
IPC分类号： B24B27/033 , B24B41/06 , G01N1/28
摘要： 本实用新型提供了一种去除晶体表面氧化物的装置，该装置包括装置本体、固定件、打磨器组件和控制组件；所述固定件和所述打磨器组件均设置在所述装置本体上，并且通过所述固定件固定待加工样品；所述控制组件连接并驱动所述打磨器组件工作，并且所述控制组件用于调整所述打磨器组件相对于所述待加工样品的打磨位置。该装置通过控制组件驱动打磨器组件对待加工样品进行打磨，无需手工进行打磨，提高效率；并且还可以通过控制组件调整打磨器组件相对于待加工样品的打磨位置及打磨程度，确保打磨的全方位性及一致性。
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公开(公告)号：CN205275774U
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201521068346.1
申请日：2015-12-21
申请人： 有研光电新材料有限责任公司
IPC分类号： C30B11/00
摘要： 本实用新型公开了一种VGF晶体炉支撑装置，该支撑装置为一金属支架，由三根等长的支撑柱及连接在支撑柱两端的相互平行的等边三角形构成；其中所述三角形的外切圆直径略小于晶体炉炉膛内径且大于保温筒的石英支撑管的外径，所述三根支撑柱的横截面直径分别为2cm。本实用新型的支撑装置可以升降石英生长管，有利于石英生长管的放入、取出、升降等操作，而不改变晶体炉的温场等条件。本实用新型的支撑装置使得石英生长管的操作简单易行，安全性高，实用性强。
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公开(公告)号：CN209759643U
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201822021326.9
申请日：2018-12-04
申请人： 有研光电新材料有限责任公司
摘要： 本实用新型涉及一种石英舟表面处理炉，所述石英舟表面处理炉包括炉体、石英管以及惰性气体保护系统；石英管设置于炉体内，石英管具有开口端与封闭端，石英管的开口端与惰性气体保护系统连通，石英管与炉体同轴设置。本实用新型的实施方式通过将石英管与炉体同轴设置，这样石英管可以均匀受热，使得石英舟内的镓液受热均匀，从而在石英舟的内表面形成方石英球状晶体，进而实现有效的阻止砷化镓熔体与石英舟的浸润。
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公开(公告)号：CN204370048U
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201420805195.2
申请日：2014-12-17
申请人： 有研光电新材料有限责任公司
摘要： 一种立式长晶单晶炉用的炉口堵头，它包括由上至下设置的盖体、炉口固定块和衬管固定块；该盖体为板状，盖在该单晶炉的炉口的顶部；该炉口固定块外部形状与该炉口的内壁形状相适应，使得该炉口固定块恰能插入该炉口并互相贴紧；该衬管固定块为环状，且外壁形状与该单晶炉的衬管的内壁形状相适应，使得该衬管固定块恰能插入该衬管并互相贴紧；该衬管固定块内壁的直径由上至下依次递增。本实用新型可以增加炉体上部端口保温性，保证炉内热场均匀，并防止石英管与保温毯之间的反应。
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