一种稀土靶材、背板及稀土靶材焊接方法

    公开(公告)号:CN116213992A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202211090269.4

    申请日:2022-09-07

    IPC分类号: B23K33/00 B23K1/00

    摘要: 本发明公开了一种稀土靶材、背板及稀土靶材焊接方法,涂覆有焊料的无凹槽背板和涂覆有焊料的有台阶的稀土靶材,焊接方法具体为:常温下将稀土靶材和背板的焊接面扣合在一起,并在稀土靶材与背板之间放置至少一层焊料片;在第一预设温度的预设比例范围内向稀土靶材和背板施加预设压力值,使稀土靶材和背板焊接在一起,第一预设温度小于焊料片的熔点温度;在稀土靶材和背板冷却至常温后,对二者进行焊接后处理。通过将涂覆有铟、锡焊料的无凹槽背板和涂覆有相同焊料的有台阶的稀土靶材焊接在一起,并在二者之间设置相同材质的焊料片,在低于铟等焊料熔点下施加压力控制焊层厚度,实现了稀土靶材高质量焊接,减缓了稀土靶材和焊料的氧化过程。