保管装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111372873A

    公开(公告)日:2020-07-03

    申请号:CN201880076220.9

    申请日:2018-10-29

    Abstract: 保管装置具备壳体、底座(11)、中间掩模保管搁架(31)、马达(81)。底座(11)配置在壳体内,且相对于该壳体而位置被固定。中间掩模保管搁架(31)经由沿上下方向延伸的旋转轴(15)连结于底座(11),且以旋转轴(15)为中心而相对于底座(11)相对旋转。马达(81)使旋转轴(15)旋转。底座(11)具备以非接触的方式输送电力的送电部(14)。中间掩模保管搁架(31)具备旋转搁架(32)、检测装置(33)、受电部(34)。在旋转搁架(32)配置中间掩模。检测装置(33)配置成与旋转搁架(32)一体地旋转,且由电力驱动。受电部(34)将从送电部(14)输送来的电力供给至检测装置(33)。

    保管装置
    2.
    发明授权

    公开(公告)号:CN111372873B

    公开(公告)日:2021-05-25

    申请号:CN201880076220.9

    申请日:2018-10-29

    Abstract: 保管装置具备壳体、底座(11)、中间掩模保管搁架(31)、马达(81)。底座(11)配置在壳体内,且相对于该壳体而位置被固定。中间掩模保管搁架(31)经由沿上下方向延伸的旋转轴(15)连结于底座(11),且以旋转轴(15)为中心而相对于底座(11)相对旋转。马达(81)使旋转轴(15)旋转。底座(11)具备以非接触的方式输送电力的送电部(14)。中间掩模保管搁架(31)具备旋转搁架(32)、检测装置(33)、受电部(34)。在旋转搁架(32)配置中间掩模。检测装置(33)配置成与旋转搁架(32)一体地旋转,且由电力驱动。受电部(34)将从送电部(14)输送来的电力供给至检测装置(33)。

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