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公开(公告)号：CN116180199A
公开(公告)日：2023-05-30
申请号：CN202310277481.X
申请日：2023-03-21
申请人： 杭州电子科技大学
摘要： 本发明公开了一种基于超声驻波制备阴极涂层的设备及方法。本发明中阴极槽和阳极槽通过管道连通，阴极槽和阳极槽内均设有竖直设置的搅拌棒；阴极槽和阳极槽上均设有导电装置；阴极槽内壁上固定有四个超声波振动装置，且四个超声波振动装置均分为两组，每正对的两个超声波振动装置为一组；阴极槽的其中两个内壁上均固定有上下间距设置的两个浓度传感器。本发明中通过阴极槽内的搅拌棒搅动阴极槽内的电解液，达到使阴极槽内电解液中金属阳离子分布均匀的目的，并通过两个声场叠加后形成的能量分布均匀的波阵面，使金属阳离子均匀吸附于阴极板表面并发生还原反应，在阴极板表面形成表面平整的阴极涂层，提高了阴极涂层的质量。
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公开(公告)号：CN114346636B
公开(公告)日：2022-08-23
申请号：CN202210103120.9
申请日：2022-01-27
申请人： 杭州电子科技大学
摘要： 本发明公开了一种多用途O型密封圈自动装配设备及方法。密封圈的安装通常由人工完成，安装精度低，效率低。本发明的升降机构驱动旋转机构、机械臂和抓取机构升降，旋转机构驱动机械臂和抓取机构旋转；抓取机构包括壳体、旋转电机、驱动块、卡爪组件和顶推组件；旋转电机经驱动块带动卡爪组件水平移动；卡爪组件的卡爪可相对卡板上下移动；顶推组件包括套筒、滑板和圆弧推板；套筒与壳体固定；圆弧推板与套筒通过滑板连接；滑板穿过卡爪；圆弧推板的底面高于卡爪底面；卡爪组件和顶推组件的数量且均为3、4或5个。本发明适用于不同内径O型密封圈的装配，以及零件不同水平、高度位置的待装配环形槽上安装密封圈。
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公开(公告)号：CN114348957A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202111661815.0
申请日：2021-12-31
申请人： 杭州电子科技大学
摘要： 本发明公开了一种交变电场结合超声制备硅纳米结构的设备，电机驱动两石墨电极旋转；三个超声发生器分别装配在反应釜内部的底面和两侧壁面上；一个超声发生器装配在釜端盖的下表面上。本发明通过两对超声发生器在硅片表面形成驻波场，使带电金属粒子停滞在驻波场的驻波节点上；石墨电极通电使带电金属粒子沿交变电场力方向运动，团聚在带电金属粒子周围的腐蚀液中的酸在带电金属粒子带动下与硅片表面反应；通过改变超声波频率和幅值改变驻波场中驻波节点位置，改变在硅片上的刻蚀位置；电机调整两石墨电极位置，使交变电场力方向改变；改变交变电流的频率和幅值，调整微结构刻蚀深度。本发明能按预设图案对硅片进行刻蚀。
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公开(公告)号：CN113134717A
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202110249185.X
申请日：2021-03-08
申请人： 杭州电子科技大学
摘要： 本发明公开了一种多用途O型密封圈自动装配设备及方法。密封圈的安装通常由人工完成，安装精度低，效率低。本发明的升降机构驱动旋转机构、机械臂和抓取机构升降，旋转机构驱动机械臂和抓取机构旋转；抓取机构包括壳体、旋转电机、驱动块、卡爪组件和顶推组件；旋转电机经驱动块带动卡爪组件水平移动；卡爪组件的卡爪可相对卡板上下移动；顶推组件包括套筒、滑板和圆弧推板；套筒与壳体固定；圆弧推板与套筒通过滑板连接；滑板穿过卡爪；圆弧推板的底面高于卡爪底面；卡爪组件和顶推组件的数量且均为3、4或5个。本发明适用于不同内径O型密封圈的装配，以及零件不同水平、高度位置的待装配环形槽上安装密封圈。
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公开(公告)号：CN114348957B
公开(公告)日：2023-07-21
申请号：CN202111661815.0
申请日：2021-12-31
申请人： 杭州电子科技大学
摘要： 本发明公开了一种交变电场结合超声制备硅纳米结构的设备，电机驱动两石墨电极旋转；三个超声发生器分别装配在反应釜内部的底面和两侧壁面上；一个超声发生器装配在釜端盖的下表面上。本发明通过两对超声发生器在硅片表面形成驻波场，使带电金属粒子停滞在驻波场的驻波节点上；石墨电极通电使带电金属粒子沿交变电场力方向运动，团聚在带电金属粒子周围的腐蚀液中的酸在带电金属粒子带动下与硅片表面反应；通过改变超声波频率和幅值改变驻波场中驻波节点位置，改变在硅片上的刻蚀位置；电机调整两石墨电极位置，使交变电场力方向改变；改变交变电流的频率和幅值，调整微结构刻蚀深度。本发明能按预设图案对硅片进行刻蚀。
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公开(公告)号：CN116145201A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310199518.1
申请日：2023-03-04
申请人： 杭州电子科技大学
摘要： 本发明公开了一种基于超声驻波剥离阴极涂层的设备及方法。本发明的龙门架两侧内壁与两个Y轴运动机构中的Y轴移动板分别固定；龙门架两侧内壁均设有Z轴运动机构，两个Z轴运动机构中每对称的两个支撑块与一个X轴运动机构中两个支撑板的两端分别固定；每个X轴运动机构的工作台均固定有振动头固定板，振动头固定板上设有多个超声振动模组，超声振动模组中换能器通过电缆与超声波发生器连接；固定在振动头固定板上的吸嘴抽出口通过波纹管与工业吸尘器的吸入端连接。本发明通过驻波振动使阴极涂层内部产生撕裂现象，达到剥离阴极涂层的目的，且避免了飞溅物的产生，同时减小了对阴极板的损伤，提高了阴极板的可重复利用率。
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公开(公告)号：CN113210215A
公开(公告)日：2021-08-06
申请号：CN202110532112.1
申请日：2021-05-17
申请人： 杭州电子科技大学
摘要： 本发明公开了一种悬浮式匀胶机及其匀胶方法。现有匀胶机涂膜不均匀。本发明包括底座，所述底座上设有风筒；所述风筒上固定匀胶室，所述匀胶室为空腔结构，且匀胶室的底端与风筒连通，所述匀胶室的侧壁开设有通气孔，所述匀胶室内设有载片托盘，所述载片托盘的侧壁上开设有沿周向均布的多个气道；所述风筒内位于所述载片托盘正下方位置处固定设有出风装置；所述出风装置的进气口和所述载片托盘的通气孔均与气体发生装置连接，所述出风装置用于驱动所述载片托盘悬浮，所述通气孔与气道配合用于驱动载片托盘旋转。本发明使得载片托盘中的晶片在空中旋转，没有任何直接的干扰，保证了晶片的形状不会受到破坏，增加了匀胶晶片的成品率。
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公开(公告)号：CN114346636A
公开(公告)日：2022-04-15
申请号：CN202210103120.9
申请日：2022-01-27
申请人： 杭州电子科技大学
摘要： 本发明公开了一种多用途O型密封圈自动装配设备及方法。密封圈的安装通常由人工完成，安装精度低，效率低。本发明的升降机构驱动旋转机构、机械臂和抓取机构升降，旋转机构驱动机械臂和抓取机构旋转；抓取机构包括壳体、旋转电机、驱动块、卡爪组件和顶推组件；旋转电机经驱动块带动卡爪组件水平移动；卡爪组件的卡爪可相对卡板上下移动；顶推组件包括套筒、滑板和圆弧推板；套筒与壳体固定；圆弧推板与套筒通过滑板连接；滑板穿过卡爪；圆弧推板的底面高于卡爪底面；卡爪组件和顶推组件的数量且均为3、4或5个。本发明适用于不同内径O型密封圈的装配，以及零件不同水平、高度位置的待装配环形槽上安装密封圈。
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公开(公告)号：CN114300353A
公开(公告)日：2022-04-08
申请号：CN202111668040.X
申请日：2021-12-31
申请人： 杭州电子科技大学
IPC分类号： H01L21/306 , B81C1/00 , B82Y40/00
摘要： 本发明公开了一种交变电场结合超声制备硅纳米结构的方法；通过两对超声发生器在反应釜内形成了驻波场，使得带电金属粒子在驻波场中停滞在各个驻波节点上；通过在两个石墨电极中通入交变电流，使反应釜中产生交变电场，使得带电金属粒子沿交变电场力的方向带动腐蚀液中的酸与硅片发生刻蚀反应；通过改变超声波的频率和幅值改变驻波场中驻波节点的位置，从而改变带电金属粒子催化刻蚀反应的位置；通过改变交变电流的频率与幅值，改变硅片表面微结构的腐蚀深度；通过改变交变电场力的方向，改变硅片表面微结构的倾斜度。本发明通过调节超声波和交变电流的频率和幅值，能实现按预设图案对硅片表面进行刻蚀；提高了硅片的刻蚀效率和精确度。
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