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公开(公告)号：CN1132234C
公开(公告)日：2003-12-24
申请号：CN98800229.9
申请日：1998-03-03
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/3205
CPC classification number: H01L27/11502 , H01L21/768 , H01L28/55 , H01L28/60
Abstract: 一种铁电薄膜电容器(400)具有光滑的电极(412、420)，随着铁电电容器老化允许相对较强的极化、较少疲劳及较少印记。光滑电极表面(414、428)是用小心地控制的干燥、轻烘烤及退火条件生成的。
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