电子束记录装置及电子束记录方法

    公开(公告)号:CN1186768C

    公开(公告)日:2005-01-26

    申请号:CN02124745.5

    申请日:2002-06-24

    IPC分类号: G11B7/00 G11B7/26 G11B9/10

    摘要: 提供一种用电子束记录装置曝光穴时,形成穴的前端和后端的形状一致、均匀形状的穴的电子束记录装置。电子束记录装置具有:发射电子束的电子射线源;根据规定的信息信号生成电压的电压控制部;根据电压控制部生成的上述电压使上述电子束偏转的控制电极;遮蔽上述电子束的遮蔽板;载置上述抗蚀剂原盘并使该抗蚀剂原盘旋转的回转台。电子束记录装置经遮蔽板的通过位置使上述电子束通过,在遮蔽板的遮蔽位置使上述电子束遮蔽,在上述抗蚀剂原盘上记录所希望的图案。电压控制部控制外加到控制电极上的电压,使电子束从第1遮蔽位置移动到上述通过位置的第1速度和从通过位置移动到第2遮蔽位置的第2速度几乎相等。

    制造多层光学信息记录介质的方法

    公开(公告)号:CN1545703A

    公开(公告)日:2004-11-10

    申请号:CN03800882.3

    申请日:2003-02-26

    IPC分类号: G11B7/26

    CPC分类号: G11B7/263 G11B7/24038

    摘要: 在具有可重写记录多层的厚基板上,其中在记录多层上形成有信号导槽或凹坑,利用压模在基板和压模之间形成分离层,且信号导槽或凹坑从压模转移到其表面上。此时,由于基板和压模之间的空间不一致,因此分离层具有不规则的厚度。第k个信号基板(103)的第k个信号记录层(100)沿第(k-1)个压模(106)上的第(k-1)个信号记录层具有信号导槽或凹坑(105)的表面布置。在它们之间,形成第(k-1)个分离层(107)并且第(k-1)个压模(106)被剥离。由于第(k-1)个信号记录层具有信号导槽或凹坑的表面和第k个信号记录层(100)之间的空间一致,因此可以获得厚度一致的第(k-1)个分离层(107)。