微机械结构体系统及其制造方法

    公开(公告)号:CN101160257A

    公开(公告)日:2008-04-09

    申请号:CN200680012509.1

    申请日:2006-04-14

    CPC classification number: G02B26/0841 G02B1/02

    Abstract: 本发明的微机械结构体系统包括:至少一部分由单晶材料形成的可动结构体(5)、支承可动结构体(5)的弹性支承部件(10)、至少一部分与可动结构体(5)相对的固定电极部(13、25)、以及具有电路部并固定有固定电极部(13、25)的基台(22)。固定电极部(13、25)包括相对可动结构体(5)而定位的第一电极层(上层固定电极层)(13)和相对基台(22)而定位的第二电极层(下层固定电极层)(25),第一电极层(13)和第二电极层(25)经由粘接层(15、16)而接合。

    执行器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1906119A

    公开(公告)日:2007-01-31

    申请号:CN200580001763.7

    申请日:2005-04-14

    Inventor: 梶野修

    CPC classification number: G02B26/0841

    Abstract: 本发明的执行器具备:基座(1);可以相对于基座(1)变位的可动部(7);以可动部(7)相对于基座(1)可以变位的方式支撑可动部(7)的弹性支撑部(13a~13c);以及相对于基座(1)变位可动部(7)的多个驱动部(6a~6c),每个多个驱动部(6a~6c)具备在向可动部(7)传递驱动力时,与可动部接触的驱动力传递部(10a~10c)。

    微驱动器
    7.
    发明授权

    公开(公告)号:CN100510835C

    公开(公告)日:2009-07-08

    申请号:CN200510067674.4

    申请日:2005-04-25

    Abstract: 一种微驱动器,在可动部的刚性和重量之间、以及可动部的刚性和静电力之间的双方综合调整。该微驱动器(100),具备基台(1)、由基台(1)支撑着的第1梳型电极(2)、具有与第1梳型电极(2)相对的第2梳型电极(8)和向基台(1)的方向突出的至少1个加强筋(9)的可动部(6)、以及以能够进行可动部(6)相对于基台(1)的变位的方式支撑可动部(6)的弹性支撑部(3)。第2梳型电极(8)的高度和至少1个加强筋(9)的高度相互不同,第1梳型电极(2)具有多个梳齿部,第1梳型电极(2)中的和加强筋(9)相对的部分的槽的深度比第1梳型电极(2)的梳齿部的根部深,至少1个加强筋(9)的高度比第2梳型电极(8)的高度高。

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