公开(公告)号：CN102648577A

公开(公告)日：2012-08-22

申请号：CN200980162516.3

申请日：2009-11-19

申请人： 日本先锋公司

发明人： 铃木纯

IPC分类号： H02N2/00 ,  B81B3/00 ,  G02B26/08 ,  G02B26/10

CPC分类号： G02B26/0841 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0858 ,  G02B26/101 ,  H01L41/09 ,  H02N1/008 ,  H02N2/10

摘要： 驱动装置（100）具有：基底部（110）；能够旋转的被驱动部（130）；弹性部（120）；施加部（140），将用于使被驱动部旋转的微振动施加到基底部，以使被驱动部以由被驱动部及弹性部确定的共振频率、以沿着一个方向（Y轴）的轴为中心轴共振的同时旋转。

公开(公告)号：CN100588606C

公开(公告)日：2010-02-10

申请号：CN200680002523.3

申请日：2006-01-10

申请人： 皇家飞利浦电子股份有限公司

发明人： M·T·梅韦斯 ,  D·范利洛普 ,  R·J·阿斯杰斯 ,  G·L·M·扬森 ,  E·C·E·范格鲁斯温 ,  D·M·布劳沃

IPC分类号： B81B3/00 ,  G02B26/08

CPC分类号： G02B26/0841 ,  B81B3/0062

摘要： 本发明涉及一种用于使物体(2)以二自由度倾斜的微机电装置(1’)，其包括承载元件(3)和隔膜(4)，所述物体(2)通过隔膜(4)与承载元件(3)连接，其中物体(2)和承载元件(3)分别包括至少一个电极(5，6)。物体(2)通过物体(2)的至少一个电极(5)与承载元件(3)的至少一个电极(6)之间的静电力(7)被倾斜，电压从电压源(V1，V2)施加到电极(5，6)。

公开(公告)号：CN101316789A

公开(公告)日：2008-12-03

申请号：CN200580052156.3

申请日：2005-11-25

申请人： 弗兰霍菲尔运输应用研究公司

发明人： 亚历山大·沃尔特 ,  托马斯·克洛泽

IPC分类号： B81B3/00

CPC分类号： B81B3/0062 ,  G02B26/08

摘要： 本发明涉及可偏转微机械元件，并且该元件优选地可被平移式偏转，也可能以振荡的方式偏转。与已知的解决方案相比，本发明的目的是容许较大的偏转，且同时对侧向力和扭矩具有更好的抵抗能力。在这种情况下，在根据本发明的元件中提供了由至少一个弹簧系统所形成的悬挂装置。在弹簧系统中提供了以铰接方式与扭簧元件连接的连杆。弹簧系统的扭簧元件沿共用轴线和/或多条互相平行排列的轴线排列，并且至少一个扭簧被牢固地夹紧。

公开(公告)号：CN101092233A

公开(公告)日：2007-12-26

申请号：CN200710004745.5

申请日：2007-01-30

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 高泳哲 ,  赵镇佑 ,  朴勇和 ,  郑喜文

IPC分类号： B81B5/00 ,  B81C5/00 ,  H02K16/02 ,  H02K21/00 ,  H02K29/00 ,  H01F7/00

CPC分类号： B81B3/0062 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/085 ,  H02K33/18

摘要： 本发明提供一种双轴微机电系统(MEMS)装置。该MEMS装置包括移动板、台、驱动线圈、一对磁体、以及轭磁性体。该移动板被共轴支承在垂直于第二轴设置的第一轴上从而绕该第一轴枢转地移动。该台在该移动板的内部区域中被共轴支承在该第二轴上。该驱动线圈包括沿该驱动板的第一轴布置且通过所述台在中心分开的共轴线圈部分、以及第一连接线圈部分和第二连接线圈部分。该对磁体分别设置。该轭磁性体设置在该对磁体之间在该磁体之上或之下的区域中并由能够被该磁体磁化的材料形成，从而根据该对磁体之间的距离突然地改变磁通密度。该MEMS装置提供了绕两个轴的可靠驱动并使旋转力加倍。

公开(公告)号：CN1214971C

公开(公告)日：2005-08-17

申请号：CN03155680.9

申请日：2003-09-02

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 高泳哲 ,  李振镐

IPC分类号： B81B5/00 ,  H02N1/00 ,  H01H59/00

CPC分类号： B81B3/0062 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/058 ,  B81C2201/019 ,  G02B26/0841 ,  H02N1/008

摘要： 本发明公开了一种激励器，包括具有第一方向和垂直第一方向的第二方向并围绕垂直于第一方向和第二方向的第三方向相对沿第一方向的中心轴往复运动的平台。第一支撑部分支撑平台的往复运动。基体在平台下面对平台并由第一支撑部分支撑。平台驱动部分具有第一驱动梳状电极和与第一驱动梳状电极对应的第一静止梳状电极，位于平台的下表面和基体面对平台的上表面上。第二支撑部分支撑第一支撑部分，使得第一支撑部分相对于沿该第二方向设置的旋转中心轴往复运动。第一支撑部驱动部分具有设置在第一支撑部分处的第二驱动梳状电极和固定地处于第二驱动梳状电极对应位置处的第二静止梳状电极从而产生第一支撑部分的往复运动。

公开(公告)号：CN107422472A

公开(公告)日：2017-12-01

申请号：CN201710368339.0

申请日：2017-05-23

申请人： 罗伯特·博世有限公司

发明人： H.格鲁切克 ,  J.穆霍 ,  M.哈塔斯 ,  S.马克 ,  T.巴尔斯林克 ,  F.沙茨

IPC分类号： G02B26/08 ,  B81B7/02

CPC分类号： G02B26/085 ,  B81B3/0045 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/0163 ,  B81B2203/056 ,  B81B2203/058 ,  G02B26/0858 ,  G02B26/0866 ,  G02B26/101 ,  B81B7/02 ,  G02B26/0833

摘要： 本发明涉及一种微机械的构件，具有能够调节地布置在所述支架处的能够调节的部件；和至少一个弯曲执行器，其中，至少所述能够调节的部件由于从所述至少一个弯曲执行器的所述至少一个第一部分区域的调节运动中得到的回复力关于所述支架围绕所述第一转动轴线能够调节，并且其中，至少所述能够调节的部件与至少一个永磁体如此地间接相连：使得至少所述能够调节的部件借助于由构件本身的或者外置的轭装置构建的磁场连同所述至少一个永磁体围绕所述第二转动轴线能够调节。本发明还涉及一种微镜装置。本发明还涉及一种用于同时围绕两个彼此倾斜的转动轴线调节能够调节的部件的方法。

公开(公告)号：CN106604887A

公开(公告)日：2017-04-26

申请号：CN201480080900.X

申请日：2014-08-04

申请人： 费斯·巴-提斯 ,  里哈德·本-马德

发明人： 费斯·巴-提斯 ,  里哈德·本-马德

IPC分类号： B81B3/00

CPC分类号： G02B26/0841 ,  B25J7/00 ,  B81B3/0037 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/047 ,  B81B2203/0136 ,  B81B2203/053 ,  H02N1/002

摘要： 公开了一种三自由度MEMS静电活塞管致动器。该致动器包括两个结构。一个结构包括：多个固定的活塞状电极，所述多个固定的活塞状电极附接到基座，并且形成致动器的定子。第二结构包括多个移动的管状电极，所述多个移动的管状电极附接到上部结构的主体并形成致动器的转子。该转子通过机械弹簧连接到定子。致动器的转子提供3‑DOF运动，包括垂直平移和围绕结构的轴线的双轴旋转。本活塞管致动器利用能够使用宽广区域电极的构造，并且因此提供使得转子能够平移的高输出力或者能够使转子旋转的高输出转矩。

公开(公告)号：CN102076601A

公开(公告)日：2011-05-25

申请号：CN200980125564.5

申请日：2009-04-29

申请人： 米克拉利内有限公司

发明人： 巴里埃·基沃思 ,  凯文·科内尔森 ,  贾里德·克劳福德

IPC分类号： B81B7/02 ,  B81B3/00 ,  B81B5/00 ,  G02B26/08 ,  H01L23/52

CPC分类号： G02B26/0841 ,  B81B3/0062 ,  B81B3/0086 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/04 ,  B81B2203/058 ,  B81B2207/07 ,  H02N1/006

摘要： 提供一种MEMS配置，其具有包含诸如反射镜的可旋转元件的顶部平面。存在中间支撑框架平面和下电气基板平面。可旋转元件由在中间支撑框架平面中形成的支撑框架支撑，以便于在第一旋转轴上相对于框架可旋转。框架被安装成相对于第二旋转轴可旋转。第一旋转轴上的旋转基本上独立于第二旋转轴上的旋转。

公开(公告)号：CN100573682C

公开(公告)日：2009-12-23

申请号：CN200610121480.2

申请日：2006-08-24

申请人： 三星电子株式会社

发明人： 朴弘植 ,  洪承范 ,  沈钟烨

IPC分类号： G11B9/00 ,  G11B9/14 ,  G12B21/20 ,  H01F41/00 ,  G01N13/10

CPC分类号： H02K41/0354 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/038 ,  B81B2201/11 ,  B81B2203/051 ,  B82Y10/00 ,  G11B9/1436 ,  H02K2201/18

摘要： 本发明公开了一种包括介质平台的微致动器的制造方法，所述介质平台具有介质承载平台和用于驱动所述介质平台的线圈，所述线圈形成于所述介质平台与所述介质承载表面相对的表面上，所述方法包括：在第一基底的第一表面上形成凹槽；在第二基底的第一表面上形成线圈；接合所述第一基底的第一表面和所述第二基底的第一表面；在所述第二基底的第二表面上形成所述介质承载表面，所述介质承载表面与所述第二基底的第一表面相对。

公开(公告)号：CN100510835C

公开(公告)日：2009-07-08

申请号：CN200510067674.4

申请日：2005-04-25

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 黑塚章 ,  虫鹿由浩 ,  梶野修

IPC分类号： G02B26/08 ,  H02N1/00 ,  B81B5/00

CPC分类号： G02B26/0841 ,  B81B3/0062 ,  B81B2201/033 ,  B81B2201/042 ,  B81B2203/053 ,  B81B2203/058 ,  H02N1/008

摘要： 一种微驱动器，在可动部的刚性和重量之间、以及可动部的刚性和静电力之间的双方综合调整。该微驱动器(100)，具备基台(1)、由基台(1)支撑着的第1梳型电极(2)、具有与第1梳型电极(2)相对的第2梳型电极(8)和向基台(1)的方向突出的至少1个加强筋(9)的可动部(6)、以及以能够进行可动部(6)相对于基台(1)的变位的方式支撑可动部(6)的弹性支撑部(3)。第2梳型电极(8)的高度和至少1个加强筋(9)的高度相互不同，第1梳型电极(2)具有多个梳齿部，第1梳型电极(2)中的和加强筋(9)相对的部分的槽的深度比第1梳型电极(2)的梳齿部的根部深，至少1个加强筋(9)的高度比第2梳型电极(8)的高度高。