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公开(公告)号：CN101617198B
公开(公告)日：2011-12-14
申请号：CN200880005466.3
申请日：2008-02-19
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/125 , G01P15/18
摘要： 一种惯性力传感器，具有检测元件(1)，所述检测元件(1)具有加速度检测部，并且，所述检测元件(1)具有：将第一臂(8)和第二臂(10)在正交方向上连接而成的两个正交臂、支承两个第一臂(8)的一端的支承部(12)、连接两个第一臂(8)的另一端的固定部(4)、固定在第二臂(10)的前端的锤部(2)，第一臂(8)的厚度比第二臂(10)和锤部(2)的厚度薄，从而提高检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN101405568B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200780009453.9
申请日：2007-03-26
申请人： 松下电器产业株式会社
CPC分类号： G01P15/09 , G01C19/5719 , G01P15/18 , H01L41/08
摘要： 本发明提供一种惯性力传感器(50)，其包括用以检测惯性力的检测元件(1)，检测元件(1)具有：两个第1正交臂(52)，其在实质正交方向上连结有第1臂(2)和第2臂(4)；支承部(6)，其支承两个第1臂(2)；固定用臂(8)；以及锤部(14)。并且，第2臂(4)具有：弯折部(4a)；相对部(16)，其在弯折部(4a)处弯折，并与第2臂(4)相对；驱动电极(18)，其设置在彼此相对的其中两个相对部(16)处，并对相对部(16)进行驱动振动；以及检测电极(20)，其设在另外两个相对部(16)处，并检测相对部(16)的变形。根据此结构，能够获得小型惯性力传感器(50)，其能够检测互不相同的多个惯性力且能够检测多个检测轴的惯性力。
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公开(公告)号：CN101617198A
公开(公告)日：2009-12-30
申请号：CN200880005466.3
申请日：2008-02-19
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： G01C19/56 , G01P9/04 , G01P15/125 , G01P15/18
摘要： 一种惯性力传感器，具有检测元件(1)，所述检测元件(1)具有加速度检测部，并且，所述检测元件(1)具有：将第一臂(8)和第二臂(10)在正交方向上连接而成的两个正交臂、支承两个第一臂(8)的一端的支承部(12)、连接两个第一臂(8)的另一端的固定部(4)、固定在第二臂(10)的前端的锤部(2)，第一臂(8)的厚度比第二臂(10)和锤部(2)的厚度薄，从而提高检测灵敏度。
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公开(公告)号：CN101405569A
公开(公告)日：2009-04-08
申请号：CN200780009646.4
申请日：2007-04-10
申请人： 松下电器产业株式会社
CPC分类号： G01C19/5607
摘要： 本发明提供一种惯性力传感器，其具备具有多个臂以及连结所述臂的基部的振荡器，在所述惯性力传感器的臂的除棱部以外的部分上形成有微调部，从而抑制因微调引起的音叉臂的损坏。
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公开(公告)号：CN1930447A
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN200580007123.7
申请日：2005-03-01
申请人： 松下电器产业株式会社
CPC分类号： G01C19/5607
摘要： 本发明提供一种可实现音叉的稳定驱动和角速度传感器的小型化并且即使在高温环境下使用也可对车体进行高精度控制的角速度传感器用音叉型振荡器、一种使用此振荡器的角速度传感器、和一种使用此角速度传感器的车辆。由电流放大器(40a)、(40b)分别对从设置在音叉臂(10b)上的上部电极(13a)、(14a)得到的电荷进行放大。由第一差动放大器(41)差动放大上述已放大的信号，并将此已放大的信号用作音叉驱动用的监测信号。将由加法部(60)对来自电流放大器(40a)、(40b)的输出信号进行加法运算后得到的加法信号，用作角速度检测用的信号。
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公开(公告)号：CN103278147B
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201310162684.0
申请日：2007-01-22
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： G01C19/5607 , G01C19/5642 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
CPC分类号： G01C19/5642 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
摘要： 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件，检测元件具有第1正交臂和支承部，第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结，支承部支承第1臂。而且，第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力，也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。
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公开(公告)号：CN103278147A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310162684.0
申请日：2007-01-22
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： G01C19/5607 , G01P15/097 , G01P15/18
CPC分类号： G01C19/5642 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
摘要： 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件，检测元件具有第1正交臂和支承部，第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结，支承部支承第1臂。而且，第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力，也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。
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公开(公告)号：CN101360968B
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN200780001605.0
申请日：2007-01-22
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： G01C19/5607 , G01P15/097 , G01P15/18
CPC分类号： G01C19/5642 , G01C19/56 , G01C19/5607 , G01C19/574 , G01P15/097 , G01P15/18
摘要： 本发明提供一种惯性力传感器。该惯性力传感器包含用于检测惯性力的检测元件，检测元件具有第1正交臂和支承部，第1正交臂的第1臂与第2臂在实质上正交的方向连结，支承部支承第1臂。而且，第2臂具有弯折部。本发明提供一种根据此结构既能检测互不相同的多个惯性力，也能检测多个检测轴的惯性力的小型惯性力传感器。
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公开(公告)号：CN101529257B
公开(公告)日：2011-06-15
申请号：CN200780038615.1
申请日：2007-11-09
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： G01P15/125 , G01P9/04 , G01C19/56
CPC分类号： G01P15/125 , G01C19/5719 , G01P1/023 , G01P5/14 , G01P15/18
摘要： 本发明涉及一种传感器，其具备检测元件(28)，该检测元件(28)具有加速度检测部。加速度检测部具有：经由可挠部(16)与固定部(14)连结的锤部(18)、与锤部(18)相对的基板部(10)、由配置于锤部(18)及基板部(10)的各自的相对面的相对电极(20、22、24、26)构成的电极部，由此，抑制锤部(18)向Z轴方向位移，能够提高X轴或Y轴的加速度的检测精度。
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公开(公告)号：CN1764822A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200580000041.X
申请日：2005-02-01
申请人： 松下电器产业株式会社
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5607
摘要： 一种角速度传感器，其包括：音叉型振子；设于音叉型振子上的驱动部；检测音叉型振子的挠变量的检测部。音叉型振子包括：具有第一端和第二端并具有基本振动频率的第一振动腕部、具有第一端和第二端并具有所述基本振动频率的第二振动腕部、以及将所述第一振动腕部的第一端和所述第二振动腕部的第一端连结的连结部。驱动部设置在所述第一振动腕部上，使所述第一振动腕部振动，具有驱动阻抗。检测部设置在所述第一振动腕部和所述第二振动腕部中的一个上，由所述音叉型振子上施加的角速度来检测第一振动腕部和第二振动腕部中的一个的挠变量。所述基本振动频率中驱动阻抗的值R1与同所述基本振动频率不同的频率的所述驱动阻抗的值R2的比R1/R2小于1。该角速度传感器即使受到外部干扰也不会输出不需要的信号。
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