公开(公告)号：CN100337161C

公开(公告)日：2007-09-12

申请号：CN02802641.1

申请日：2002-09-12

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 岸村真治 ,  远藤政孝 ,  笹子胜 ,  上田充 ,  藤之谷刚彦

IPC分类号： G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/0395 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/146 ,  Y10S430/167 ,  Y10S430/168

摘要： 一种具有含以[化1]表示的单元的基体树脂和酸产生剂的图案形成材料，[化1](其中，R1是氢原子、氯原子、氟原子、烷基或含氟原子烷基；R2是由酸而离去的保护基)。

公开(公告)号：CN101673051A

公开(公告)日：2010-03-17

申请号：CN200910128224.X

申请日：2002-09-12

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 岸村真治 ,  远藤政孝 ,  笹子胜 ,  上田充 ,  藤之谷刚彦

IPC分类号： G03F7/004 ,  G03F7/039 ,  G03F7/00 ,  G03F7/20

CPC分类号： G03F7/0046 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/111

摘要： 一种具有含以[化1]所表示的单元与以[化2]所表示的单元的基体树脂和酸产生剂的图案形成材料，(其中，R1和R3是相同或不同，是氢原子、氯原子、氟原子、烷基或含氟原子烷基；R2是氢原子、烷基、脂环基、芳基、杂环、酯基或醚基，是不由酸而离去的原子或基团；R4是由酸而离去的保护基；m为0～5的整数；a和b满足0＜a＜1、0＜b＜1和0＜a+b≤1。)

公开(公告)号：CN1799005A

公开(公告)日：2006-07-05

申请号：CN02802642.X

申请日：2002-09-12

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 岸村真治 ,  远藤政孝 ,  笹子胜 ,  上田充 ,  藤之谷刚彦

IPC分类号： G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/0046 ,  G03F7/0395 ,  G03F7/0397 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/111

摘要： 一种具有含以[化1]所表示的单元与以[化2]所表示的单元的基体树脂和酸产生剂的图案形成材料，其中，R1和R3是相同或不同，是氢原子、氯原子、氟原子、烷基或含氟原子烷基；R2是氢原子、烷基、脂环基、芳基、杂环、酯基或醚基，是不由酸而离去的原子或基团；R4是由酸而离去的保护基；m为0～5的整数；a和b满足0＜a＜1、0＜b＜1和0＜a+b≤1。

公开(公告)号：CN1524200A

公开(公告)日：2004-08-25

申请号：CN02802641.1

申请日：2002-09-12

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 岸村真治 ,  远藤政孝 ,  笹子胜 ,  上田充 ,  藤之谷刚彦

IPC分类号： G03F7/039 ,  H01L21/027

CPC分类号： G03F7/0395 ,  G03F7/0046 ,  G03F7/0392 ,  Y10S430/106 ,  Y10S430/108 ,  Y10S430/111 ,  Y10S430/115 ,  Y10S430/146 ,  Y10S430/167 ,  Y10S430/168

摘要： 一种具有含以[化1]表示的单元的基体树脂和酸产生剂的图案形成材料，(其中，R1是氢原子、氯原子、氟原子、烷基或含氟原子烷基；R2是由酸而离去的保护基。)