公开(公告)号：CN1057422C

公开(公告)日：2000-10-11

申请号：CN95118293.5

申请日：1995-10-25

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 川濑透 ,  长野义信 ,  木村忠司 ,  吉田善一 ,  水口信一

IPC分类号： H05H1/30 ,  H05H1/46

CPC分类号： H01J37/32229 ,  H05H1/30 ,  H05H2001/3468 ,  H05H2001/3478

摘要： 微波等离子吹管，包括：一具有抽真空装置的真空容器；一同轴波导，其包括一内导体、一外导体，该波导的第一端部分与微波供给装置连接，第二端部分与该空容器连接，由此将微波沿同轴波导的波导轴导入到真空容器中；一气体供给装置，用于沿多个喷射轴将气体喷入真空容器，在该微波等离子吹管中，至少多个喷射轴中的两个在第二端部分中不与波导轴相交，且不在垂直于波导轴的平面中，在第二端部分附近，内导体与外导体直径之比沿波导轴自第一端部分向第二端部分减小。

公开(公告)号：CN1127978A

公开(公告)日：1996-07-31

申请号：CN95118293.5

申请日：1995-10-25

申请人： 松下电器产业株式会社

发明人： 川濑透 ,  长野义信 ,  木村忠司 ,  吉田善一 ,  水口信一

IPC分类号： H05H1/30 ,  H05H1/42

CPC分类号： H01J37/32229 ,  H05H1/30 ,  H05H2001/3468 ,  H05H2001/3478

摘要： 微波等离子吹管，包括：一具有抽真空装置的真空容器；一同轴波导，其包括一内导体、一外导体，该波导的第一端部分与微波供给装置连接，第二端部分与该空容器连接，由此将微波沿同轴波导的波导轴导入到真空容器中；一气体供给装置，用于沿多个喷射轴将气体喷入真空容器，在该微波等离子吹管中，至少多个喷射轴中的两个在第二端部分中不与波导轴相交，且不在垂直于波导轴的平面中，在第二端部分附近，内导体与外导体直径之比沿波导轴自第一端部分向第二端部分减小。