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公开(公告)号：CN101317262A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200680044182.6
申请日：2006-11-24
Applicant: 松下电工株式会社
Abstract: 提供了一种具有稳定传感器特性的紧凑型传感器装置及其制造方法。该传感器装置由传感器基板和接合到传感器基板的两个表面的一对封装基板形成。传感器基板具有带开口的框架、保持在开口中可相对于框架移动的移动部分、和用于根据移动部分的位移输出电信号的探测部分。通过使用惰性气体的原子束、离子束或等离子体在传感器基板的框架和封装基板上形成表面激活区域。通过在室温时在传感器基板的表面激活区域与每个封装基板之间形成直接接合，可避免由在接合部分的残余应力导致的问题。
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公开(公告)号：CN1238686C
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN03138275.4
申请日：2003-05-30
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01B7/16
CPC classification number: G01P15/123 , B81B3/0021 , B81B3/0086 , B81B2201/0235 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , G01L9/0055 , G01P2015/0828 , Y10S977/956
Abstract: 本发明涉及机械形变量检测传感器。传感器构造体(1)由硅基片构成，通过对里面一侧的一部分进行各向异性刻蚀形成凹部(3)，备有矩形框状的支持部分(1a)，和占据支持部分(1a)的框内的薄的隔片(2)，玻璃制的台座(4)，其中设置用于将流体压力导入凹部(3)的压力导入孔(5)，与传感器构造体(1)的里面接合。在传感器构造体(1)的表面上在与隔片(2)两侧的周边部分的中央对应的位置上，为了跨在隔片(2)和支持部分(1a)的边界上而设置炭毫微管电阻元件(61，62)。与这些炭毫微管电阻元件(61，62)一起，将组成用于取出检测信号的电桥电路的用作基准的电阻元件(63，64)配置固定在支持部分(1a)的表面上。
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公开(公告)号：CN101317263B
公开(公告)日：2012-03-21
申请号：CN200680044187.9
申请日：2006-11-24
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: H01L23/02 , G01C19/5769
CPC classification number: G01P15/0802 , B81B7/0051 , B81B7/0064 , B81B2201/025 , B81C2203/038 , G01C19/5719 , G01P1/023 , G01P15/125 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种具有小的传感器波动特性和优良抗电噪声特性的传感器装置。该传感器装置具有传感器单元，该传感器单元包括具有开口的框架、保持在开口中相对于框架可移动的可移动部和用于输出基于可移动部的位置移动的电信号的检测部。该传感器装置还具有封装基板，该基板由半导体材料形成并结合于该传感器单元的表面上。该封装基板在面对传感器单元的表面上具有电绝缘膜，并且该电绝缘膜的活化表面在室温下直接结合于传感器单元的活化表面上。因此，该封装基板结合于传感器单元上。
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公开(公告)号：CN1303427C
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：CN200410061836.9
申请日：2004-06-25
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01P15/12
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0842
Abstract: 一种半导体加速度传感器包括：框架2，其内具有开口21；挠性横梁3，从框架2延伸到框架2的开口内；重物5，悬挂于横梁3并由横梁3支撑以使重物5可自由移动；压电电阻器4，安装在横梁3上并响应其上产生的加速度而改变电阻值。框架2包括风挡部分6，每个风挡部分6覆盖开口21的一部分，该部分包括从开口21侧面上框架2的两邻接侧面的拐角部分22到开口21内的范围，并且每个风挡部分6用作制动器以限制重物5的移动。重物5具有分别面向拐角部分22的拐角部分53，每个拐角部分53的角被去掉以具有从俯视方向看的弧形或由至少三条边构成的折线形。由此，增加每个制动器的断裂强度，并因此获得具有优良抗冲击性的半导体加速度传感器。
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公开(公告)号：CN101432627A
公开(公告)日：2009-05-13
申请号：CN200780015491.5
申请日：2007-04-25
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01P15/125
Abstract: 电容式传感器(1)包括固定电极(6)和通过梁部分(4)由支座部分(3)可动支撑的可动电极(5)。固定电极(6)和可动电极(5)彼此相对，在其间夹有间隙，从而组成检测单元。检测适合间隙的尺寸的电容，以检测预定的物理值。连接到支座部分(3)的梁部分(4)的端部(4a)和连接到可动电极(5)的梁部分(4)的端部(4b)的至少之一设置有调节应力的应力调节单元(30)。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101317263A
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200680044187.9
申请日：2006-11-24
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , B81B7/0051 , B81B7/0064 , B81B2201/025 , B81C2203/038 , G01C19/5719 , G01P1/023 , G01P15/125 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
Abstract: 本发明提供一种具有小的传感器波动特性和优良抗电噪声特性的传感器装置。该传感器装置具有传感器单元，该传感器单元包括具有开口的框架、保持在开口中相对于框架可移动的可移动部和用于输出基于可移动部的位置移动的电信号的检测部。该传感器装置还具有封装基板，该基板由半导体材料形成并结合于该传感器单元的表面上。该封装基板在面对传感器单元的表面上具有电绝缘膜，并且该电绝缘膜的活化表面在室温下直接结合于传感器单元的活化表面上。因此，该封装基板结合于传感器单元上。
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公开(公告)号：CN1576852A
公开(公告)日：2005-02-09
申请号：CN200410061836.9
申请日：2004-06-25
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01P15/12
CPC classification number: G01P15/18 , G01P15/0802 , G01P15/123 , G01P2015/0842
Abstract: 一种半导体加速度传感器包括：框架2，其内具有开口21；挠性横梁3，从框架2延伸到框架2的开口内；重物5，悬挂于横梁3并由横梁3支撑以使重物5可自由移动；压电电阻器4，安装在横梁3上并响应其上产生的加速度而改变电阻值。框架2包括风挡部分6，每个风挡部分6覆盖开口21的一部分，该部分包括从开口21侧面上框架2的两邻接侧面的拐角部分22到开口21内的范围，并且每个风挡部分6用作制动器以限制重物5的移动。重物5具有分别面向拐角部分22的拐角部分53，每个拐角部分53的角被去掉以具有从俯视方向看的弧形或由至少三条边构成的折线形。由此，增加每个制动器的断裂强度，并因此获得具有优良抗冲击性的半导体加速度传感器。
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公开(公告)号：CN100568001C
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200710091401.2
申请日：2007-03-28
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/082
Abstract: 本发明披露了一种电容传感器，该电容传感器包括误差补偿单元，在作为边缘部分的固定电极的一部分和活动电极的一部分在检测单元错位的方向上彼此相对并保持一定间隙的布置中，误差补偿单元利用根据错位引起的间隙的变化的电容的变化，减小检测单元中由梳齿部分彼此错位产生的电容的检测误差。
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公开(公告)号：CN101046491A
公开(公告)日：2007-10-03
申请号：CN200710091401.2
申请日：2007-03-28
Applicant: 松下电工株式会社
CPC classification number: G01P15/0802 , G01P15/125 , G01P15/18 , G01P2015/082
Abstract: 本发明披露了一种电容传感器，该电容传感器包括误差补偿单元，在作为边缘部分的固定电极的一部分和活动电极的一部分在检测单元错位的方向上彼此相对并保持一定间隙的布置中，误差补偿单元利用根据错位引起的间隙的变化的电容的变化，减小检测单元中由梳齿部分彼此错位产生的电容的检测误差。
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公开(公告)号：CN1469100A
公开(公告)日：2004-01-21
申请号：CN03138275.4
申请日：2003-05-30
Applicant: 松下电工株式会社
IPC: G01B7/16
CPC classification number: G01P15/123 , B81B3/0021 , B81B3/0086 , B81B2201/0235 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , G01L9/0055 , G01P2015/0828 , Y10S977/956
Abstract: 本发明涉及机械形变量检测传感器。传感器构造体1由硅基片构成，通过对里面一侧的一部分进行各向异性刻蚀形成凹部3，备有矩形框状的支持部分1a、和占据支持部分1a的框内的薄的隔片2。玻璃制的台座4，其中设置用于将流体压力导入凹部3的压力导入孔5，与传感器构造体1的里面接合。在传感器构造体1的表面上在与隔片2两侧的周边部分的中央对应的位置上，为了跨在隔片2和支持部分1a的边界上而设置炭毫微管电阻元件61，62。与这些炭毫微管电阻元件61，62一起，将组成用于取出检测信号的电桥电路的用作基准的电阻元件63，64配置固定在支持部分1a的表面上。
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