公开(公告)号：CN107210574A

公开(公告)日：2017-09-26

申请号：CN201680009394.4

申请日：2016-02-23

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 胜海久和 ,  竹泽和也 ,  柿崎弘司 ,  对马弘朗 ,  浅山武志

IPC: H01S3/038

Abstract: 该准分子激光腔室装置可以具备：激光腔室；第一电极，其配置在激光腔室内；第二电极，其在激光腔室内与第一电极相对配置；电极保持架，其配置在激光腔室内，与高电压连接；至少一个连接端子，其将第一电极与电极保持架电气连接，包含针对第一电极的第一固定部分和针对电极保持架的第二固定部分；引导部件，其被电极保持架保持，在大致垂直于第一电极与第二电极之间的放电方向以及第一电极的长度方向这两者的方向上对第一电极进行定位；以及电极间隙可变装置，其使第一电极与放电方向大致平行地移动。

公开(公告)号：CN107210574B

公开(公告)日：2019-12-20

申请号：CN201680009394.4

申请日：2016-02-23

Applicant: 极光先进雷射株式会社

Inventor： 胜海久和 ,  竹泽和也 ,  柿崎弘司 ,  对马弘朗 ,  浅山武志

IPC: H01S3/038

Abstract: 该准分子激光腔室装置可以具备：激光腔室；第一电极，其配置在激光腔室内；第二电极，其在激光腔室内与第一电极相对配置；电极保持架，其配置在激光腔室内，与高电压连接；至少一个连接端子，其将第一电极与电极保持架电气连接，包含针对第一电极的第一固定部分和针对电极保持架的第二固定部分；引导部件，其被电极保持架保持，在大致垂直于第一电极与第二电极之间的放电方向以及第一电极的长度方向这两者的方向上对第一电极进行定位；以及电极间隙可变装置，其使第一电极与放电方向大致平行地移动。