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公开(公告)号：CN113439371B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN201980091052.5
申请日：2019-03-26
Applicant: 国立大学法人长冈技术科学大学 , 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/097
Abstract: 高电压脉冲产生装置对被配置于气体激光装置的激光腔内的一对放电电极之间施加脉冲状的高电压，该高电压脉冲产生装置具有：n个变压器芯，它们构成变压器，n为2以上的自然数，n个变压器芯分别构成为形成沿着第1面的磁路，n个变压器芯各自的与第1面平行的第1方向的宽度比与第1面平行且与第1方向垂直的第2方向的宽度大；变压器的n个一次侧电路，n个一次侧电路彼此并联连接，n个一次侧电路分别包含至少1个一次侧线圈、和与至少1个一次侧线圈并联连接的m个脉冲产生部，m为2以上的自然数；以及变压器的二次侧电路，其包含二次侧线圈，所述二次侧电路与一对放电电极连接。
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公开(公告)号：CN107210574B
公开(公告)日：2019-12-20
申请号：CN201680009394.4
申请日：2016-02-23
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/038
Abstract: 该准分子激光腔室装置可以具备：激光腔室；第一电极，其配置在激光腔室内；第二电极，其在激光腔室内与第一电极相对配置；电极保持架，其配置在激光腔室内，与高电压连接；至少一个连接端子，其将第一电极与电极保持架电气连接，包含针对第一电极的第一固定部分和针对电极保持架的第二固定部分；引导部件，其被电极保持架保持，在大致垂直于第一电极与第二电极之间的放电方向以及第一电极的长度方向这两者的方向上对第一电极进行定位；以及电极间隙可变装置，其使第一电极与放电方向大致平行地移动。
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公开(公告)号：CN107251341A
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201580075815.9
申请日：2015-03-16
Applicant: 国立大学法人九州大学 , 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/00 , H01L21/20 , H01L21/268 , H01S3/0975 , H01S3/23
Abstract: 一种激光系统，其是作为对被加工物照射脉冲激光的激光退火装置的光源的激光系统，该激光系统可以具备：生成脉冲激光的激光装置；能够改变脉冲激光的脉冲时间波形的脉冲时间波形可变装置；以及从激光退火装置接收脉冲时间波形生成参数，对脉冲时间波形可变装置进行控制的控制部。
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公开(公告)号：CN109891688B
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201680090114.7
申请日：2016-12-08
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: H01S3/10
Abstract: 激光装置具备：A、固态激光装置，其输出包括多个脉冲的突发种子脉冲光；B、准分子放大器，其在放电空间中，利用一次放电对突发种子脉冲光进行放大，并作为放大突发脉冲光输出；C、能量传感器，其计测放大突发脉冲光的能量；以及D、激光控制部，其基于从所述固态激光装置输出突发种子脉冲光的时机与在放电空间中产生放电的时机之差和能量的计测值之间的关系，校正使固态激光装置输出突发种子脉冲光的时机。
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公开(公告)号：CN107735914B
公开(公告)日：2020-06-26
申请号：CN201580080993.0
申请日：2015-07-14
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 本准分子激光装置从外部装置接收目标脉冲能量的数据而输出脉冲激光，其中，该准分子激光装置可以具有：主振荡器；至少一个放大器，它们分别包含配置在从主振荡器输出的脉冲激光的光路上的腔室、配置在腔室中的一对电极、对一对电极施加电压的电源；以及控制部，其根据目标脉冲能量，针对至少一个放大器中的一个放大器，使电源停止对一对电极施加电压。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110023027A
公开(公告)日：2019-07-16
申请号：CN201780073789.5
申请日：2017-01-17
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: B23K26/53 , H01L21/301
Abstract: 激光加工系统具有：A、波长可变激光装置，其输出脉冲激光，并且能够使脉冲激光的波长发生变化；B、光学系统，其对被加工物照射从波长可变激光装置输出的脉冲激光；C、基准波长取得部，其取得与基于被加工物的材料的光子吸收对应的基准波长；D、激光加工控制部，其对波长可变激光装置进行控制，在对被加工物实施主加工之前执行预加工，并且一边使波长可变激光装置所输出的脉冲激光的波长在包含基准波长的规定范围内变化，一边按照多个波长执行波长搜索用预加工；E、加工状态计测器，其计测按照多个波长进行的波长搜索用预加工的每个波长的加工状态；以及F、最佳波长确定部，其对每个波长的加工状态进行评价来确定用于主加工的最佳波长。
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公开(公告)号：CN111148596B
公开(公告)日：2022-09-16
申请号：CN201780094447.1
申请日：2017-10-04
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 一种激光加工方法，使用激光加工系统对相对于紫外线透明的透明材料实施激光加工，该激光加工系统具有：激光装置，其输出紫外线的脉冲激光；转印掩模，其形成有使脉冲激光透过的转印图案；以及转印光学系统，其对转印像进行转印，该转印像是通过使脉冲激光透过转印图案而形成的，且形状与转印图案对应，其中，该激光加工方法具有以下的步骤：A.定位步骤，在脉冲激光的光轴方向上进行由转印光学系统转印的转印像的转印位置与透明材料之间的相对定位，该定位使得转印位置在光轴方向上成为从透明材料的表面向透明材料的内部进入了规定的深度ΔZsf的位置；以及B.照射步骤，对透明材料照射脉冲宽度为1ns～100ns的范围且转印位置处的射束的直径为10μm以上且150μm以下的脉冲激光。
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公开(公告)号：CN110023027B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201780073789.5
申请日：2017-01-17
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: B23K26/53 , H01L21/301
Abstract: 激光加工系统具有：A、波长可变激光装置，其输出脉冲激光，并且能够使脉冲激光的波长发生变化；B、光学系统，其对被加工物照射从波长可变激光装置输出的脉冲激光；C、基准波长取得部，其取得与基于被加工物的材料的光子吸收对应的基准波长；D、激光加工控制部，其对波长可变激光装置进行控制，在对被加工物实施主加工之前执行预加工，并且一边使波长可变激光装置所输出的脉冲激光的波长在包含基准波长的规定范围内变化，一边按照多个波长执行波长搜索用预加工；E、加工状态计测器，其计测按照多个波长进行的波长搜索用预加工的每个波长的加工状态；以及F、最佳波长确定部，其对每个波长的加工状态进行评价来确定用于主加工的最佳波长。
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公开(公告)号：CN109792132B
公开(公告)日：2021-05-11
申请号：CN201680089816.3
申请日：2016-11-29
Applicant: 极光先进雷射株式会社
Abstract: 激光加工系统具备：波长可变激光装置，其输出氧吸收光的波长的吸收线和氧的吸光量比吸收线少的波长的非吸收线各自的激光；光学系统，其向被加工物照射激光；以及激光控制部，其控制波长可变激光装置的激光控制部，在包含氧的气体中对被加工物的表面进行激光加工时，将波长可变激光装置输出的激光的波长设定为非吸收线，而且在包含氧的气体中对被加工物的表面进行臭氧洗涤时，将波长可变激光装置输出的激光的波长设定为吸收线。
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公开(公告)号：CN111417487A
公开(公告)日：2020-07-14
申请号：CN201880076915.7
申请日：2018-01-24
Applicant: 极光先进雷射株式会社
IPC: B23K26/02 , B23K26/00 , B23K26/382 , B23K26/50
Abstract: 一种激光加工方法，对相对于紫外线透明的透明材料实施激光加工，其中，该激光加工方法具有以下步骤：A.定位步骤，以使转印位置成为在光轴方向上从透明材料的表面起以规定的深度ΔZsf进入透明材料的内部后的位置的方式对转印像的转印位置进行定位；B.照射条件取得步骤；C.判定步骤，根据照射条件，判定透明材料的表面上的脉冲激光的最大注量是否在规定的范围内；以及D.控制步骤，在判定为最大注量在规定的范围内的情况下，容许脉冲激光的照射，其中，目标注量为与脉冲激光的光轴垂直的方向上的、转印位置处的射束的截面内的平均注量，将透明材料的表面上的射束的截面分割为多个小区域，最大注量为分割后的每个小区域的注量中的最大值。
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