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公开(公告)号：CN118922919A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202280093735.6
申请日：2022-03-17
Applicant: 柯尼卡美能达株式会社
IPC: H01L21/306 , B41J2/14 , B41J2/16
Abstract: 喷嘴板(110)在单晶硅基板(B)的第一面(Ba)具备多个形成有用于排出液滴的喷嘴(N)的喷嘴流路(111)，单晶硅基板(B)的第一面(Ba)和与第一面(Ba)对置的第二面(Bb)为{110}面。因此，第一面(Ba)侧的喷嘴流路(111)的开口部能够为大致平行四边形形状，能够提高喷嘴密度。
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