公开(公告)号：CN103975220A

公开(公告)日：2014-08-06

申请号：CN201280060185.4

申请日：2012-09-12

Applicant: 柯尼卡美能达株式会社

Inventor： 御子柴浩伸 ,  泷谷俊哉

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/00 ,  G01B11/24

CPC classification number: G01B11/254 ,  G01B9/0207 ,  G01B9/02076 ,  G01B9/0209 ,  G01B11/2441

Abstract: 本发明提供一种形状测定装置，其不会受到因形状测定装置的振动、驱动工作台的驱动精度、温度变动、部件变形等而导致载物台与干涉光学系统之间的相对距离微小变动的影响，能够准确地掌握拍摄白光干涉条纹时的干涉光学系统相对于载物台的相对位置，能够高精度地测定工件形状。本发明的形状测定装置(1)使用白光干涉来测定工件形状，该形状测定装置(1)具有：载物台(10)，其载置工件(W)；干涉光学系统(100)，其向工件(W)照射白光(WL)而产生白光干涉条纹；驱动部(26)，其使载物台以及干涉光学系统中任一方的位置沿光轴方向移动；长度测定器(50)，其测定利用驱动部而变化的载物台与干涉光学系统之间的相对距离(L)；拍摄部(40)，其为了获得根据相对距离而变化的白光干涉条纹的对比度信息，拍摄白光干涉条纹。