银反射镜以及其制造方法及检查方法

    公开(公告)号:CN107850705A

    公开(公告)日:2018-03-27

    申请号:CN201680043165.4

    申请日:2016-07-25

    Abstract: 本发明提供即使在高温多湿的环境下也能够维持使用银实现的高反射特性、且能够将膜应力抑制得小且将光学面的面变形抑制得小的银反射镜及其制造方法等。反射膜的成膜后的膜应力在+100MPa至-100MPa的范围,将反射膜在110℃的高温干燥环境中投入了24小时后的膜应力和将其后的反射膜在85℃85%RH的高温多湿环境中投入了24小时后的膜应力在+100MPa至-100MPa的范围内,并且这些前后的膜应力值的变化量的绝对值为40MPa以下。

    银反射镜以及其制造方法及检查方法

    公开(公告)号:CN107850705B

    公开(公告)日:2020-02-14

    申请号:CN201680043165.4

    申请日:2016-07-25

    Abstract: 本发明提供即使在高温多湿的环境下也能够维持使用银实现的高反射特性、且能够将膜应力抑制得小且将光学面的面变形抑制得小的银反射镜及其制造方法等。反射膜的成膜后的膜应力在+100MPa至‑100MPa的范围,将反射膜在110℃的高温干燥环境中投入了24小时后的膜应力和将其后的反射膜在85℃85%RH的高温多湿环境中投入了24小时后的膜应力在+100MPa至‑100MPa的范围内,并且这些前后的膜应力值的变化量的绝对值为40MPa以下。

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