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公开(公告)号:CN111486876A
公开(公告)日:2020-08-04
申请号:CN202010074296.7
申请日:2020-01-22
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 久保园纮士
Abstract: 本发明一种涉及电磁感应型编码器。该电磁感应型编码器包括各自具有大致平板形状的检测头和标尺。所述检测头和所述标尺彼此相对设置并且在测量轴方向上相对移动。所述标尺包括由在测量轴方向上周期地设置的导体形成的多个周期元件。所述多个周期元件利用导体耦合。所述检测头包括被布线成在所述多个周期元件中的各周期元件中产生方向彼此相反的两个或更多个涡电流的发送线圈。所述检测头包括接收线圈。所述接收线圈电磁耦合到所述多个周期元件所产生的磁束以检测所述磁束的相位。
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公开(公告)号:CN111006698A
公开(公告)日:2020-04-14
申请号:CN201910920929.9
申请日:2019-09-27
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 久保园纮士
IPC: G01D5/245
Abstract: 一种电磁感应型编码器,其中检测头具有被配置为生成磁通量的发送器线圈,其中标尺具有在测量轴方向上排列的多个连接线圈,多个连接线圈被配置为与由发送器线圈生成的磁通量电磁耦合并且生成在测量轴方向上在预定空间周期内波动的磁通量,其中检测头具有接收器线圈,接收器线圈具有在该检测头的预定面上沿测量轴方向排列的多个线圈,并且多个线圈被配置为与由多个连接线圈生成的磁通量电磁耦合并且检测磁通量的相位,其中多个线圈中的一个线圈的电流方向与彼此相邻的多个线圈中另一线圈的电流方向相反。
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公开(公告)号:CN113091778B
公开(公告)日:2023-09-22
申请号:CN202011523982.4
申请日:2020-12-22
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 久保园纮士
IPC: G01D5/20
Abstract: 一种电磁感应型编码器包括检测头和标尺。所述检测头具有相对于第一轨道产生磁通量的第一收发器线圈以及相对于第二轨道产生磁通量的第二收发器线圈。所述标尺具有相对于第一轨道的第一多个周期性元件以及相对于第二轨道的第二多个周期性元件。所述检测头具有从第一轨道连续延伸到第二轨道的接收器线圈、与由第一多个周期性元件产生的磁通量和由第二多个周期性元件产生的磁通量电磁耦合、并且检测由第一多个周期性元件产生的磁通量的相位和由第二多个周期性元件产生的磁通量的相位。
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公开(公告)号:CN113091778A
公开(公告)日:2021-07-09
申请号:CN202011523982.4
申请日:2020-12-22
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 久保园纮士
IPC: G01D5/20
Abstract: 一种电磁感应型编码器包括检测头和标尺。所述检测头具有相对于第一轨道产生磁通量的第一收发器线圈以及相对于第二轨道产生磁通量的第二收发器线圈。所述标尺具有相对于第一轨道的第一多个周期性元件以及相对于第二轨道的第二多个周期性元件。所述检测头具有从第一轨道连续延伸到第二轨道的接收器线圈、与由第一多个周期性元件产生的磁通量和由第二多个周期性元件产生的磁通量电磁耦合、并且检测由第一多个周期性元件产生的磁通量的相位和由第二多个周期性元件产生的磁通量的相位。
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公开(公告)号:CN111006698B
公开(公告)日:2022-11-15
申请号:CN201910920929.9
申请日:2019-09-27
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 久保园纮士
IPC: G01D5/245
Abstract: 一种电磁感应型编码器,其中检测头具有被配置为生成磁通量的发送器线圈,其中标尺具有在测量轴方向上排列的多个连接线圈,多个连接线圈被配置为与由发送器线圈生成的磁通量电磁耦合并且生成在测量轴方向上在预定空间周期内波动的磁通量,其中检测头具有接收器线圈,接收器线圈具有在该检测头的预定面上沿测量轴方向排列的多个线圈,并且多个线圈被配置为与由多个连接线圈生成的磁通量电磁耦合并且检测磁通量的相位,其中多个线圈中的一个线圈的电流方向与彼此相邻的多个线圈中另一线圈的电流方向相反。
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公开(公告)号:CN108627078B
公开(公告)日:2021-05-04
申请号:CN201810189412.2
申请日:2018-03-07
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 久保园纮士
IPC: G01B7/02
Abstract: 提供了一种电磁感应式位移检测设备,在电磁感应式位移检测设备中,可以抑制接收装置所接收到的磁通量的变化的影响。一种电磁感应式位移检测设备包括:包括标尺线圈的标尺;以及相对于标尺相对地移动的头部。头部包括:在标尺线圈中产生磁通量的发送装置;以及包括第一接收单元和第二接收单元的接收装置,第一接收单元和第二接收单元各自接收磁通量的变化,并且在接收装置中,第一接收单元和第二接收单元布置为沿着测量方向彼此偏移。接收装置包括:一个端部部分和另一端部部分,在一个端部部分和另一端部部分中,使多个接收线圈的密度稀疏;以及设置在一个端部部分与另一端部部分之间的中心部分,并且在中心部分中,使多个接收线圈的密度密集。
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公开(公告)号:CN118209139A
公开(公告)日:2024-06-18
申请号:CN202311719538.3
申请日:2023-12-14
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01D5/243 , B23K26/362 , H01B13/00
Abstract: 一种标尺包括:衬底;多个标尺图案,所述多个标尺图案沿着测量方向以恒定周期布置在所述衬底的表面上并且由导体制成;以及多个虚设图案,所述多个虚设图案设置在所述衬底的所述表面上的未设置所述多个标尺图案的区域的至少一部分上,并且由与所述多个标尺图案相同的导体制成。可以形成在以多个虚设图案中的每个虚设图案中的点为中心的多个虚设图案中的每个虚设图案中的最大圆的直径是多个标尺图案的周期的1/4或更小。
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公开(公告)号:CN108627078A
公开(公告)日:2018-10-09
申请号:CN201810189412.2
申请日:2018-03-07
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 久保园纮士
IPC: G01B7/02
CPC classification number: G01D5/2053 , G01B7/003 , G01D5/206 , G01B7/02
Abstract: 提供了一种电磁感应式位移检测设备,在电磁感应式位移检测设备中,可以抑制接收装置所接收到的磁通量的变化的影响。一种电磁感应式位移检测设备包括:包括标尺线圈的标尺;以及相对于标尺相对地移动的头部。头部包括:在标尺线圈中产生磁通量的发送装置;以及包括第一接收单元和第二接收单元的接收装置,第一接收单元和第二接收单元各自接收磁通量的变化,并且在接收装置中,第一接收单元和第二接收单元布置为沿着测量方向彼此偏移。接收装置包括:一个端部部分和另一端部部分,在一个端部部分和另一端部部分中,使多个接收线圈的密度稀疏;以及设置在一个端部部分与另一端部部分之间的中心部分,并且在中心部分中,使多个接收线圈的密度密集。
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