公开(公告)号：CN113280841A

公开(公告)日：2021-08-20

申请号：CN202011501256.2

申请日：2020-12-18

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 三宅耕作 ,  青木敏彦

IPC: G01D5/32 ,  G01D5/26 ,  G01D5/12

Abstract: 本发明提供一种标尺，其能够在长期抑制腐蚀的同时，在测量中维持高测量精度。标尺具有基材、在所述基材的主面以规定的周期排列的标尺图案、以及覆盖所述标尺图案且至少一部分为单分子氟化合物的氟膜。

公开(公告)号：CN116261271A

公开(公告)日：2023-06-13

申请号：CN202211548750.3

申请日：2022-12-05

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 三宅耕作

IPC: H05K3/02 ,  H05K3/06

Abstract: 一种导体图案的制造方法包括：制备在其一个主面上设置有导体的基板；利用短脉冲激光在导体上形成导体图案的轮廓；以及通过蚀刻去除导体的除了导体图案以外的至少一部分。

公开(公告)号：CN119595022A

公开(公告)日：2025-03-11

申请号：CN202411174705.5

申请日：2024-08-26

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 三宅耕作

IPC: G01D5/249

Abstract: 本发明公开了标尺、编码器及标尺制造方法。标尺制造方法包括：在设置于基材的至少第一面上的树脂层上形成含金属层；通过从与基材相对的一侧向含金属层照射第一激光而在含金属层上形成图案的轮廓；从基材的与第一面相对的第二面的一侧向含金属层的轮廓之外的边部照射第二激光；以及剥离对应于该边部的含金属层的一部分。

公开(公告)号：CN112147729B

公开(公告)日：2024-06-25

申请号：CN202010598440.7

申请日：2020-06-28

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 青木敏彦 ,  三宅耕作

IPC: G02B5/18 ,  G01D5/347

Abstract: 本发明提供一种能够抑制光学特性的偏差的光栅部件及其制造方法。该光栅部件的特征在于，其具备在第1主面具备光学光栅的透明的第1基板以及在第1主面具备光学光栅的透明的第2基板，所述第1基板的与该第1基板的所述第1主面相对的第2主面和所述第2基板的与该第2基板的所述第1主面相对的第2主面彼此接合。

公开(公告)号：CN113758414A

公开(公告)日：2021-12-07

申请号：CN202110254533.2

申请日：2021-03-05

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 青木敏彦 ,  三宅耕作

IPC: G01B11/00

Abstract: 本发明提供能够改善可靠性的刻度尺及其制造方法。一种刻度尺，其特征在于，具备：基板；Ni的金属层，其形成在前述基板的一个主面上；以及刻度光栅，其形成在前述金属层上、以规定的间隔配置有多个Cr光栅。

公开(公告)号：CN119085718A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202410678286.2

申请日：2024-05-29

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 三宅耕作

IPC: G01D5/12 ,  C03C23/00

Abstract: 本发明公开了标尺、编码器及标尺制造方法。标尺包括具有磨砂玻璃状上表面的玻璃基板、以预定间隔布置在玻璃基板的上表面上的多个导体图案、以及设置在玻璃基板的下表面上的构造物。

公开(公告)号：CN118209139A

公开(公告)日：2024-06-18

申请号：CN202311719538.3

申请日：2023-12-14

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 久保园纮士 ,  三宅耕作

IPC: G01D5/243 ,  B23K26/362 ,  H01B13/00

Abstract: 一种标尺包括：衬底；多个标尺图案，所述多个标尺图案沿着测量方向以恒定周期布置在所述衬底的表面上并且由导体制成；以及多个虚设图案，所述多个虚设图案设置在所述衬底的所述表面上的未设置所述多个标尺图案的区域的至少一部分上，并且由与所述多个标尺图案相同的导体制成。可以形成在以多个虚设图案中的每个虚设图案中的点为中心的多个虚设图案中的每个虚设图案中的最大圆的直径是多个标尺图案的周期的1/4或更小。

公开(公告)号：CN112147729A

公开(公告)日：2020-12-29

申请号：CN202010598440.7

申请日：2020-06-28

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 青木敏彦 ,  三宅耕作

IPC: G02B5/18 ,  G01D5/347

Abstract: 本发明提供一种能够抑制光学特性的偏差的光栅部件及其制造方法。该光栅部件的特征在于，其具备在第1主面具备光学光栅的透明的第1基板以及在第1主面具备光学光栅的透明的第2基板，所述第1基板的与该第1基板的所述第1主面相对的第2主面和所述第2基板的与该第2基板的所述第1主面相对的第2主面彼此接合。