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公开(公告)号:CN111120511A
公开(公告)日:2020-05-08
申请号:CN201911042662.4
申请日:2019-10-30
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种旋转台设备,包括:具有置放表面的台部分,工件安装在该置放表面上且该置放表面绕预定旋转轴线旋转;支撑部分,具有面对下表面的引导表面,该下表面在台部分的置放表面的相反侧;空气供应孔,通过在引导表面和下表面之间供应压缩空气而形成空气膜,压缩空气流过流动路径;负压力产生部分,其通过增加所经过的压缩空气的流动速度而产生负压力,以在引导表面和下表面之间抽吸空气;排放部分,形成有排放端口,已经经过负压力产生部分的压缩空气和被负压力产生部分抽吸的空气通过该排放端口排放;和开口调整部分,其根据与施加到台部分的负荷对应的压缩空气压力的大小调整排放部分的排放端口的开口面积的大小。
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公开(公告)号:CN117588494A
公开(公告)日:2024-02-23
申请号:CN202310982963.5
申请日:2023-08-07
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 防尘密封结构包括转子组件10和可旋转地支撑转子组件10的定子组件20。当压缩空气被供应到推力板11的下表面11b和定子组件20的上表面之间时,定子组件20在推力板11的下表面11b和定子组件20的上表面之间形成水平推力空气静压轴承S1。推力板11和定子组件20形成密封部15,压缩空气流过该密封部15。密封部15包括倾斜流道16,该倾斜流道16的高度沿径向方向从推力板11的外周表面向内侧增加。
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公开(公告)号:CN105588537B
公开(公告)日:2020-06-09
申请号:CN201510765162.9
申请日:2015-11-10
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 提供一种将工件放置在测量装置的方法,其中工件被放置在测量装置的台上。所述方法包括:使用能够将所述工件保持在所述台之上的保持器;使用能够提升和降低所述台的上表面的调整器;用所述保持器将所述工件保持在所述台之上;用调整器使所述台的上表面上升从而使所述台的上表面与所述工件的下表面相接触;以及所述工件的载荷由所述台承担之后,释放所述保持器对所述工件的保持。
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公开(公告)号:CN107269698B
公开(公告)日:2020-04-21
申请号:CN201710193601.2
申请日:2017-03-28
Applicant: 株式会社三丰
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明提供一种空气轴承,其能够以简单的配置实现真空预压功能。空气轴承(1)包括主体部分(10),其具有与引导面(501)相对的轴承表面(20);流动路径部分(31)和(32),其设置在主体部分(10)中,以允许从外部供应的压缩空气流动;空气供应孔(21),其设置在流动路径部分(32)中,用于向引导面(501)供应压缩空气,以在轴承表面(20)和引导面(501)之间形成空气膜;以及负压产生部分(45),其设置在与流动路径部分(32)相交的流动路径部分(31)中,用于产生负压,以通过增加压缩空气的流速来抽吸引导面(501)和主体部分(10)之间的空气。
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公开(公告)号:CN110388889A
公开(公告)日:2019-10-29
申请号:CN201910312913.X
申请日:2019-04-18
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明提供旋转工作台和圆度测量机,其测量时的衰减性能较高且能够减小定心调整时的滑动阻力。旋转工作台包括:旋转盘(23),其能够绕铅垂的旋转轴线(Ct)旋转;轴承构件(定子(21)),其将旋转盘支承为旋转自如;滑动盘(71),其能够在旋转盘的上表面滑动;位置调整机构(74),其用于使滑动盘沿着旋转盘的上表面位移;载物盘(73),其支承于滑动盘;多个空气喷嘴(232),其以旋转轴线为中心地呈圆环状配置于定子的上表面,用于在定子的上表面和旋转盘的下表面之间形成静压空气膜(231);静压腔(714),其形成在旋转盘的上表面和滑动盘的下表面之间;以及连通孔(235),其形成于旋转盘,用于将静压空气膜的压力向静压腔导入。
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公开(公告)号:CN107269698A
公开(公告)日:2017-10-20
申请号:CN201710193601.2
申请日:2017-03-28
Applicant: 株式会社三丰
IPC: F16C32/06
Abstract: 本发明提供一种空气轴承,其能够以简单的配置实现真空预压功能。空气轴承(1)包括主体部分(10),其具有与引导面(501)相对的轴承表面(20);流动路径部分(31)和(32),其设置在主体部分(10)中,以允许从外部供应的压缩空气流动;空气供应孔(21),其设置在流动路径部分(32)中,用于向引导面(501)供应压缩空气,以在轴承表面(20)和引导面(501)之间形成空气膜;以及负压产生部分(45),其设置在与流动路径部分(32)相交的流动路径部分(31)中,用于产生负压,以通过增加压缩空气的流速来抽吸引导面(501)和主体部分(10)之间的空气。
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公开(公告)号:CN111120511B
公开(公告)日:2023-04-11
申请号:CN201911042662.4
申请日:2019-10-30
Applicant: 株式会社三丰
Abstract: 一种旋转台设备,包括:具有置放表面的台部分,工件安装在该置放表面上且该置放表面绕预定旋转轴线旋转;支撑部分,具有面对下表面的引导表面,该下表面在台部分的置放表面的相反侧;空气供应孔,通过在引导表面和下表面之间供应压缩空气而形成空气膜,压缩空气流过流动路径;负压力产生部分,其通过增加所经过的压缩空气的流动速度而产生负压力,以在引导表面和下表面之间抽吸空气;排放部分,形成有排放端口,已经经过负压力产生部分的压缩空气和被负压力产生部分抽吸的空气通过该排放端口排放;和开口调整部分,其根据与施加到台部分的负荷对应的压缩空气压力的大小调整排放部分的排放端口的开口面积的大小。
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公开(公告)号:CN110388889B
公开(公告)日:2022-06-21
申请号:CN201910312913.X
申请日:2019-04-18
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/20
Abstract: 本发明提供旋转工作台和圆度测量机,其测量时的衰减性能较高且能够减小定心调整时的滑动阻力。旋转工作台包括:旋转盘(23),其能够绕铅垂的旋转轴线(Ct)旋转;轴承构件(定子(21)),其将旋转盘支承为旋转自如;滑动盘(71),其能够在旋转盘的上表面滑动;位置调整机构(74),其用于使滑动盘沿着旋转盘的上表面位移;载物盘(73),其支承于滑动盘;多个空气喷嘴(232),其以旋转轴线为中心地呈圆环状配置于定子的上表面,用于在定子的上表面和旋转盘的下表面之间形成静压空气膜(231);静压腔(714),其形成在旋转盘的上表面和滑动盘的下表面之间;以及连通孔(235),其形成于旋转盘,用于将静压空气膜的压力向静压腔导入。
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公开(公告)号:CN104165195B
公开(公告)日:2018-03-30
申请号:CN201410206136.8
申请日:2014-05-15
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 境久嘉
IPC: F16D3/16
CPC classification number: F16D3/82 , F16C32/0603 , F16D3/02 , F16D3/80
Abstract: 本发明提供旋转传递装置,具有与旋转轴线(A)同轴地排列的第1构件(10)、中间构件(30)及第2构件(20),在第1构件形成有沿旋转轴线及第1方向(D1)的第1轴承面(13),在第2构件形成有沿旋转轴线及第2方向(D2)的第2轴承面(23),在中间构件形成有与第1轴承面相对的第1中间轴承面(33)和与第2轴承面相对的第2中间轴承面(34),在第1轴承面与第1中间轴承面之间形成有第1空气静压轴承(41),在第2轴承面与第2中间轴承面之间形成有第2空气静压轴承(42),而且,还具有对第1轴承面和第1中间轴承面向彼此靠近的方向施力的第1预压装置(51)及对第2轴承面和第2中间轴承面向彼此靠近的方向施力的第2预压装置(52)。
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公开(公告)号:CN104421332A
公开(公告)日:2015-03-18
申请号:CN201410443132.1
申请日:2014-09-02
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: 境久嘉
IPC: F16C29/02
CPC classification number: G01B3/20 , F16C29/002 , F16C29/005 , F16C29/02 , F16C29/025 , F16C29/123 , F16C32/0614 , F16C32/0666 , F16C2370/00
Abstract: 一种滑动导向装置(1),具备导向体(2),其具有互相平行的基准导向面(23)及副导向面(24);滑块(3),其具有在基准导向面(23)上滑动的基准滑动垫(31)及在副导向面(24)上滑动的副滑动垫(33),使由驱动装置(5)驱动的滑块(3)沿着导向体(2)移动,其中,副滑动垫(33)具有作为在副导向面(24)上滑动的副滑动面的滑动面和与副导向面(24)非接触且承受负载的气窝。
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