表面纹理测量设备的控制方法

    公开(公告)号:CN109425320B

    公开(公告)日:2022-06-03

    申请号:CN201811033220.9

    申请日:2018-09-05

    Inventor: 平野宏太郎

    Abstract: 提供了一种表面纹理测量设备的控制方法,该表面纹理测量设备配备有无法检测边缘部分以自动进行边缘检测并自动设置工件坐标系的探测器。因此,可以减少在设置坐标系时各个操作者的差异,并且提高坐标系设置的可作业性。利用探测器(260)沿预设的预备测量路径(PL)扫描待测面(Sw)。在发生当待测面(Sw)超出探测器(260)的追踪范围时引起的检测错误的情况下,将紧接在检测错误发生之前的测量值临时登记为临时边缘点。在沿着预备测量路径进行预定距离的后续扫描期间检测错误继续的情况下,将临时登记的临时边缘点设置为边缘点。

    形状测定装置、形状测定方法及点感测器的定位单元

    公开(公告)号:CN105486251B

    公开(公告)日:2019-12-10

    申请号:CN201510633501.8

    申请日:2015-09-29

    Abstract: 一种形状测定装置、形状测定方法及点感测器的定位单元,定位单元包括配设在点感测器(200)周围的两个以上的激光源(231、232)。来自于两个以上的激光源(231、232)的激光(LA、LA)在远离点感测器(200)的与检测点(Ps)相距既定距离的调整点(Pc)处交叉。使调整点(Pc)定位在工件(W)上的所期望的测定开始点(Pm),使点感测器(200)移动既定距离(Dz)以接近工件(W)并开始进行工件(W)的测定扫描。本发明可容易且迅速地将点感测器的检测点和测定开始点定位。

    将工件放置到测量装置台上的方法

    公开(公告)号:CN105588537A

    公开(公告)日:2016-05-18

    申请号:CN201510765162.9

    申请日:2015-11-10

    Abstract: 提供一种将工件放置在测量装置的方法,其中工件被放置在测量装置的台上。所述方法包括:使用能够将所述工件保持在所述台之上的保持器;使用能够提升和降低所述台的上表面的调整器;用所述保持器将所述工件保持在所述台之上;用调整器使所述台的上表面上升从而使所述台的上表面与所述工件的下表面相接触;以及所述工件的载荷由所述台承担之后,释放所述保持器对所述工件的保持。

    形状测定装置、形状测定方法及点感测器的定位单元

    公开(公告)号:CN105486251A

    公开(公告)日:2016-04-13

    申请号:CN201510633501.8

    申请日:2015-09-29

    Abstract: 一种形状测定装置、形状测定方法及点感测器的定位单元,定位单元包括配设在点感测器(200)周围的两个以上的激光源(231、232)。来自于两个以上的激光源(231、232)的激光(LA、LA)在远离点感测器(200)的与检测点(Ps)相距既定距离的调整点(Pc)处交叉。使调整点(Pc)定位在工件(W)上的所期望的测定开始点(Pm),使点感测器(200)移动既定距离(Dz)以接近工件(W)并开始进行工件(W)的测定扫描。本发明可容易且迅速地将点感测器的检测点和测定开始点定位。

    将工件放置到测量装置台上的方法

    公开(公告)号:CN105588537B

    公开(公告)日:2020-06-09

    申请号:CN201510765162.9

    申请日:2015-11-10

    Abstract: 提供一种将工件放置在测量装置的方法,其中工件被放置在测量装置的台上。所述方法包括:使用能够将所述工件保持在所述台之上的保持器;使用能够提升和降低所述台的上表面的调整器;用所述保持器将所述工件保持在所述台之上;用调整器使所述台的上表面上升从而使所述台的上表面与所述工件的下表面相接触;以及所述工件的载荷由所述台承担之后,释放所述保持器对所述工件的保持。

    表面纹理测量设备的控制方法

    公开(公告)号:CN109425320A

    公开(公告)日:2019-03-05

    申请号:CN201811033220.9

    申请日:2018-09-05

    Inventor: 平野宏太郎

    Abstract: 提供了一种表面纹理测量设备的控制方法,该表面纹理测量设备配备有无法检测边缘部分以自动进行边缘检测并自动设置工件坐标系的探测器。因此,可以减少在设置坐标系时各个操作者的差异,并且提高坐标系设置的可作业性。利用探测器(260)沿预设的预备测量路径(PL)扫描待测面(Sw)。在发生当待测面(Sw)超出探测器(260)的追踪范围时引起的检测错误的情况下,将紧接在检测错误发生之前的测量值临时登记为临时边缘点。在沿着预备测量路径进行预定距离的后续扫描期间检测错误继续的情况下,将临时登记的临时边缘点设置为边缘点。

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