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公开(公告)号:CN110274559A
公开(公告)日:2019-09-24
申请号:CN201910173980.8
申请日:2019-03-08
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
Abstract: 一种测量设备的基部,其中可防止强度降低,同时能实现重量降低。配置为用探针(30)测量工件(W)的三维测量设备(1)的基部(10)包括在其上放置工件(W)的置放单元(12)和设置在置放单元(12)的侧表面(12e)侧的引导单元(14),且配置为引导对探针(30)进行支撑的柱(22),可沿运动方向运动。引导单元(14)的沿运动方向的引导单元一端(14c)和引导单元另一端(14d)延伸到置放单元(12)的沿运动方向的置放单元一端(12c)和置放单元另一端(12d)以外。
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公开(公告)号:CN110243322A
公开(公告)日:2019-09-17
申请号:CN201910166825.3
申请日:2019-03-06
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B21/00
Abstract: 一种座标测量机(CMM)(1)包括:测量工件W的探针(40);移动体(21),其在支撑探针(40)的同时从驱动器(32)接收驱动力时移动;位置检测部(843),其在移动体(21)移动的同时探针(40)测量工件W时检测移动体(21)的位置;位移获取部(844),其基于检测传感器(50)的检测结果,获取移动体(21)移动时探针(40)的位移量;以及测量值获取部(845),其基于由位置检测部(843)检测到的移动体(21)的位置和由位移获取部(844)获取的探针(40)的位移量来获取工件W的测量值。
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