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公开(公告)号：CN106352789A
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201610552319.4
申请日：2016-07-13
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种瞬时相位偏移干涉仪，其使用相干距离比从参考面反射的光和从测量面反射的光之间的光路长度差小的光源。分割来自该光源的光束，并且使用能够调整的延迟光路来使第一光束延迟以引起光路长度差，并且将第一光束叠加在与第二光束相同的光轴上，之后产生参考光束和测量光束。在调整期间改变延迟光路的光路长度，分别拍摄多个干涉条纹图像，并且计算各个干涉条纹图像中所获得的干涉条纹的偏压、振幅和相位偏移量至少之一。基于偏压计算结果、振幅计算结果和相位偏移量计算结果来对测量对象的形状进行测量。
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公开(公告)号：CN115727755A
公开(公告)日：2023-03-03
申请号：CN202210999903.X
申请日：2022-08-19
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 松浦心平
IPC: G01B9/02015
Abstract: 本发明涉及一种菲索干涉仪及确定测试面特性和改善干涉图对比度的方法。本发明涉及干涉度量领域，特别是涉及用于改善干涉图的对比度的菲索干涉仪。菲索干涉仪包括光源、参考面、位于菲索干涉仪的支撑件上的测试面以及摄像系统。菲索干涉仪利用偏振参考面来改善干涉图的对比度。本发明还涉及本发明的菲索干涉仪的使用方法，用于改善由菲索干涉仪获得的干涉图的对比度。
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公开(公告)号：CN109425309A
公开(公告)日：2019-03-05
申请号：CN201811024889.1
申请日：2018-09-04
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 松浦心平
Abstract: 一种图像处理装置3，包括：图像获取部件322，其获取多个不同测量的图像；建模部件323，其对于每个像素标识近似按捕获顺序放置与所述各个测量的图像对应的像素的像素值的数据序列的近似函数的建模的参数；重构的图像生成部件324，其生成作为与所述各个测量的图像对应的图像并且通过基于每个像素的所述建模的参数所标识的每个像素的近似值所重构的重构的图像；以及图像改变部件325，其基于测量的图像的像素值的统计以及所述对应重构的图像的像素值的统计改变测量的图像的像素值。
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公开(公告)号：CN106352789B
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201610552319.4
申请日：2016-07-13
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B9/02
Abstract: 一种瞬时相位偏移干涉仪，其使用相干距离比从参考面反射的光和从测量面反射的光之间的光路长度差小的光源。分割来自该光源的光束，并且使用能够调整的延迟光路来使第一光束延迟以引起光路长度差，并且将第一光束叠加在与第二光束相同的光轴上，之后产生参考光束和测量光束。在调整期间改变延迟光路的光路长度，分别拍摄多个干涉条纹图像，并且计算各个干涉条纹图像中所获得的干涉条纹的偏压、振幅和相位偏移量至少之一。基于偏压计算结果、振幅计算结果和相位偏移量计算结果来对测量对象的形状进行测量。
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公开(公告)号：CN109387158A
公开(公告)日：2019-02-26
申请号：CN201810872262.5
申请日：2018-08-02
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 松浦心平
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及光学系统、光学装置和非暂时性计算机可读介质。该光学系统包括：偏振光相移光学电路，其包括偏振分束器，用于将具有如下相干长度的光分离成沿着正常光路行进的正常光和沿着与所述正常光路相比光路长度更长的延迟光路行进的延迟光，其中所述相干长度短于所述正常光路和所述延迟光路之间的光路长度的差；分割部，在所述分割部中使所述正常光和所述延迟光分别发射到参考面，并且所述分割部将从所述参考面反射的反射光分割成多个光束；以及多个摄像元件，用于分别检测分割后的多个光束的强度，并且所述光学系统还包括包含校准部的信息处理部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109387158B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201810872262.5
申请日：2018-08-02
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 松浦心平
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明涉及光学系统、光学装置和非暂时性计算机可读介质。该光学系统包括：偏振光相移光学电路，其包括偏振分束器，用于将具有如下相干长度的光分离成沿着正常光路行进的正常光和沿着与所述正常光路相比光路长度更长的延迟光路行进的延迟光，其中所述相干长度短于所述正常光路和所述延迟光路之间的光路长度的差；分割部，在所述分割部中使所述正常光和所述延迟光分别发射到参考面，并且所述分割部将从所述参考面反射的反射光分割成多个光束；以及多个摄像元件，用于分别检测分割后的多个光束的强度，并且所述光学系统还包括包含校准部的信息处理部。
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公开(公告)号：CN112629433A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011033769.5
申请日：2020-09-27
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 松浦心平
Abstract: 本发明涉及一种分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质。该分析设备(200)包括：获取部(210)，用于从干涉测量设备获取基于具有多个不同波长的光的多个干涉图像；去除部(230)，用于通过去除多个干涉图像中的各像素的干涉信号中所包含的非干涉分量来输出干涉分量；转换部(240)，用于通过对干涉分量进行希尔伯特变换来生成分析信号；以及计算部(250)，用于基于干涉分量和分析信号，通过指定照射到参考面(132)和测量对象物体(10)的表面上的光的波长的相位梯度，来计算参考面(132)和测量对象物体(10)的表面之间的距离。
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公开(公告)号：CN109427048B
公开(公告)日：2023-08-25
申请号：CN201811024890.4
申请日：2018-09-04
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 松浦心平
Abstract: 图像处理装置3包括：图像获取部322，通过捕获待测对象来获取多个测量图像；建模部323，基于测量图像识别建模参数；中间图像生成部324，基于建模参数生成用于生成指示待测对象的几何形状的几何图像的中间图像；噪声阈值图像生成部325，通过使用指示所述数据序列中包括的像素的像素值与基于对于每个像素的建模参数识别出的像素的近似值之间的误差的统计识别中间图像中每个像素的噪声阈值来生成噪声阈值图像；以及噪声去除部326，使用噪声阈值图像对中间图像执行阈值化。
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公开(公告)号：CN109425309B
公开(公告)日：2021-09-14
申请号：CN201811024889.1
申请日：2018-09-04
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 松浦心平
Abstract: 一种图像处理装置3，包括：图像获取部件322，其获取多个不同测量的图像；建模部件323，其对于每个像素标识近似按捕获顺序放置与所述各个测量的图像对应的像素的像素值的数据序列的近似函数的建模的参数；重构的图像生成部件324，其生成作为与所述各个测量的图像对应的图像并且通过基于每个像素的所述建模的参数所标识的每个像素的近似值所重构的重构的图像；以及图像改变部件325，其基于测量的图像的像素值的统计以及所述对应重构的图像的像素值的统计改变测量的图像的像素值。
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公开(公告)号：CN112629434A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202011037038.8
申请日：2020-09-28
Applicant: 株式会社三丰
Inventor： 松浦心平
Abstract: 本发明涉及一种分析设备、分析方法、干涉测量系统和存储介质。该分析设备(200)包括：获取部(210)，其从干涉测量设备获取基于参考面(132)和测量对象物体(10)的表面之间的多个光路长度的多个干涉图像；计算部(230)，其分别计算多个干涉图像中的各像素的干涉信号的正弦波分量和余弦波分量；误差检测部(240)，其检测基于各像素的正弦波分量和余弦波分量所构成的第一利萨如图形与理想的第二利萨如图形之间的误差；校正部(250)，其基于该误差来校正各像素的正弦波分量和余弦波分量；以及几何形状计算部(260)，其基于校正后的正弦波分量和余弦波分量来计算测量对象物体(10)的表面几何形状。
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