公开(公告)号：CN107121086A

公开(公告)日：2017-09-01

申请号：CN201710102550.8

申请日：2017-02-24

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 松宫贞行 ,  上山修一 ,  浅野秀光 ,  酒井裕志 ,  真家洋武 ,  高桥芳彦 ,  新井雅典 ,  本桥研

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B11/30 ,  G01B5/003 ,  G01B5/012 ,  G01B5/061 ,  G01B5/12 ,  G01B9/02 ,  G01B9/02041 ,  G01B11/0608 ,  G01B11/12 ,  G01B11/2441 ,  G01B11/303 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明提供一种表面构造测量装置，该表面构造测量装置包括：使具有内壁的可测物体沿XY平面位移的X轴位移机构和Y轴位移机构；以非接触方式测量内壁的表面构造的测量传感器；使测量传感器沿与XY平面正交的Z轴方向位移并使测量传感器面向内壁的Z轴位移机构；使面向内壁的测量传感器沿内壁的法向位移的W轴位移机构；以及使面向内壁的测量传感器沿内壁位移的θ轴位移机构。