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公开(公告)号:CN110220469A
公开(公告)日:2019-09-10
申请号:CN201910154755.X
申请日:2019-03-01
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: H·海特杰马 , 亨德瑞克·凯特拉尔斯
IPC: G01B11/12
Abstract: 本发明提供用于透明管的内径测量的方法和设备。在用于测量透明管状物体的性质的方法和设备中,激光束扫描物体,并且在平行于激光束方向的第一检测方向上、或者在该第一检测方向上和与该第一检测方向成角度、特别是90°的第二检测方向上检测源自物体的激光光。可以根据折射率、扫描速度、在第一检测方向上和第二检测方向上检测到的外径、以及从物体的外表面反射的激光光与折射到物体中并在物体的内表面反射的激光光之间的时间差,来计算物体的内半径。如果在第一检测方向上检测折射到物体中并在该物体的内表面反射的激光光的时间是已知的,则不需要折射率。
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公开(公告)号:CN110220469B
公开(公告)日:2022-04-05
申请号:CN201910154755.X
申请日:2019-03-01
Applicant: 株式会社三丰
Inventor: H·海特杰马 , 亨德瑞克·凯特拉尔斯
IPC: G01B11/12
Abstract: 本发明提供用于透明管的内径测量的方法和设备。在用于测量透明管状物体的性质的方法和设备中,激光束扫描物体,并且在平行于激光束方向的第一检测方向上、或者在该第一检测方向上和与该第一检测方向成角度、特别是90°的第二检测方向上检测源自物体的激光光。可以根据折射率、扫描速度、在第一检测方向上和第二检测方向上检测到的外径、以及从物体的外表面反射的激光光与折射到物体中并在物体的内表面反射的激光光之间的时间差,来计算物体的内半径。如果在第一检测方向上检测折射到物体中并在该物体的内表面反射的激光光的时间是已知的,则不需要折射率。
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公开(公告)号:CN107525463B
公开(公告)日:2020-10-16
申请号:CN201710458539.5
申请日:2017-06-16
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供一种光干涉测定装置和光干涉测定方法。提供一种能够将来自测定对象物的不与光轴垂直的表面部分的反射光取入到光学系统的光干涉测定装置。具备:光源,其射出光;干涉物镜,其具备参考镜和分束器,其中,该参考镜配置在参考光路上,该分束器将入射的光沿所述参考光路和测定光路分支,并且输出将被参考镜反射的反射光和被在测定光路上配置的测定对象物反射的反射光合成得到的合成光;摄像单元,其拍摄由合成光成像得到的图像;以及光圈,其能够在干涉物镜与光源及摄像单元之间的光路上沿干涉物镜的光轴方向移动。
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公开(公告)号:CN107525463A
公开(公告)日:2017-12-29
申请号:CN201710458539.5
申请日:2017-06-16
Applicant: 株式会社三丰
IPC: G01B9/02
Abstract: 本发明提供一种光干涉测定装置和光干涉测定方法。提供一种能够将来自测定对象物的不与光轴垂直的表面部分的反射光取入到光学系统的光干涉测定装置。具备:光源,其射出光;干涉物镜,其具备参考镜和分束器,其中,该参考镜配置在参考光路上,该分束器将入射的光沿所述参考光路和测定光路分支,并且输出将被参考镜反射的反射光和被在测定光路上配置的测定对象物反射的反射光合成得到的合成光;摄像单元,其拍摄由合成光成像得到的图像;以及光圈,其能够在干涉物镜与光源及摄像单元之间的光路上沿干涉物镜的光轴方向移动。
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