公开(公告)号：CN110243282A

公开(公告)日：2019-09-17

申请号：CN201910173447.1

申请日：2019-03-07

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 本桥研 ,  J·A·奎达克尔斯 ,  A·T·祖德伟格

IPC: G01B9/02 ,  G01B11/24

Abstract: 本发明提供一种干涉测量光学装置，其用于测量圆筒形对象物的弯曲壁形状，该干涉测量光学装置包括：干涉测量光学系统，其将测量光发射在对象物的弯曲壁处，收集对象物反射的光，并生成用于合成反射的光和参考光的合成波；转动驱动组件，其连接到干涉测量光学系统，并且使干涉测量光学系统以与对象物的圆筒形的中心轴一致的转动轴为中心转动移动；传感器，用于使用二维排列的多个感光器元件来获取合成波的强度的二维分布；以及计算装置，用于基于在转动驱动机构的转动角度变化的状态下所获取到的多个二维分布来计算对象物的弯曲壁形状。

公开(公告)号：CN110243282B

公开(公告)日：2023-09-19

申请号：CN201910173447.1

申请日：2019-03-07

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 本桥研 ,  J·A·奎达克尔斯 ,  A·T·祖德伟格

IPC: G01B11/24

Abstract: 本发明提供一种干涉测量光学装置，其用于测量圆筒形对象物的弯曲壁形状，该干涉测量光学装置包括：干涉测量光学系统，其将测量光发射在对象物的弯曲壁处，收集对象物反射的光，并生成用于合成反射的光和参考光的合成波；转动驱动组件，其连接到干涉测量光学系统，并且使干涉测量光学系统以与对象物的圆筒形的中心轴一致的转动轴为中心转动移动；传感器，用于使用二维排列的多个感光器元件来获取合成波的强度的二维分布；以及计算装置，用于基于在转动驱动机构的转动角度变化的状态下所获取到的多个二维分布来计算对象物的弯曲壁形状。