公开(公告)号：CN87106274A

公开(公告)日：1988-02-24

申请号：CN87106274

申请日：1987-08-15

Applicant: 株式会社三丰制作所

Inventor： 市川宗次

IPC: G01B11/04

CPC classification number: G01D5/36

Abstract: 一种光学式位移检测装置，该装置包括一个主标尺和一个指示标尺，主标尺上形成的第一光栅的间距调定为P，指示标尺上形成的第二光栅的间距调定为P/n，从而产生间距为P/n的分度检测信号。第二光栅的间距调定为(u+v)P/u或(u+v)P/(2u)(u是漫射性光源与第一光栅之间的间隙距离，v是第一光栅与第二光栅之间的间隙距离)，从而可以无需使用准直透镜。此外还用了第一光栅的较高次谐波分量，因而将第二光栅的间距调定在大致为(u+v)Q/u或(u+v)Q(2u)(Q＝P/m，m为等于或大于2的整数)从而避免将第二光栅的间距分成更小的分度。

公开(公告)号：CN1013705B

公开(公告)日：1991-08-28

申请号：CN87106274

申请日：1987-08-15

Applicant: 株式会社三丰制作所

Inventor： 市川宗次

IPC: G01B11/04

CPC classification number: G01D5/36

Abstract: 一种光学式位移检测装置，包括一个主标尺和一个指示标尺，主标尺上第一光栅的间距为P，指示标尺上第二光栅的间距为P/n，从而产生间距为P/n的分度检测信号。此外，第二光栅的间距调定为(u+v)P/u或(u+v)P/(2u)(u是浸射性光源与第一光栅间的距离，v是两个光栅间的距离)，从而可不用准直透镜。此外还用了第一光栅的较高次谐波分量，因而将第二光栅的间距调定在大致为(u+v)Q/u或(u+v)Q/(2u)(Q＝P/m，m为等于或大于2的整数)，从而避免将第二光栅的间距分成更小的分度。