公开(公告)号：CN107949901B

公开(公告)日：2021-08-31

申请号：CN201680047856.1

申请日：2016-08-22

申请人： 株式会社世可

发明人： 金炫中 ,  金洪徹 ,  金正来 ,  崔炳景 ,  王弘来 ,  权雅贤 ,  申东贤 ,  李圣徒 ,  罗钟周 ,  权正大

IPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/56 ,  H01L31/0216

摘要： 本发明涉及一种防反射表面的制造方法及形成防反射表面的基板，将通过反复控制等离子体干式蚀刻和无机物的沉积而形成的防反射结构层控制为各种结构，从而能够提高耐久性并确保优异的透光性及防反射效果，并且具有易清洁、耐污染性、耐划伤性等功能。

公开(公告)号：CN107949901A

公开(公告)日：2018-04-20

申请号：CN201680047856.1

申请日：2016-08-22

申请人： 株式会社世可 ,  韩国机械研究院

发明人： 金炫中 ,  金洪徹 ,  金正来 ,  崔炳景 ,  王弘来 ,  权雅贤 ,  申东贤 ,  李圣徒 ,  罗钟周 ,  权正大

IPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/56 ,  H01L31/0216

CPC分类号： H01L21/3065 ,  H01L21/56 ,  H01L31/0216

摘要： 本发明涉及一种防反射表面的制造方法及形成防反射表面的基板，将通过反复控制等离子体干式蚀刻和无机物的沉积而形成的防反射结构层控制为各种结构，从而能够提高耐久性并确保优异的透光性及防反射效果，并且具有易清洁、耐污染性、耐划伤性等功能。