抗蚀剂剥离废液再生方法和再生装置

    公开(公告)号:CN101030046B

    公开(公告)日:2011-08-24

    申请号:CN200710086161.7

    申请日:2007-03-05

    摘要: 本发明提供一种抗蚀剂剥离废液再生方法和再生装置,其特别适于经济性较好地对使用含各种专门的胺化合物的剥离液的剥离工序时以及使用各种抗蚀剂和剥离液时所产生的抗蚀剂剥离废液进行再生。所述再生装置适用于该再生方法。本发明所述的再生方法是对含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的抗蚀剂剥离废液进行再生的方法,该方法的特征在于,其含有:(a)添加酸的工序,所述酸与抗蚀剂剥离废液的胺化合物发生反应而使得胺化合物以胺-酸化合物的形式从剥离废液中析出;(b)将上述(a)工序中析出的胺-酸化合物从剥离废液中滤出的工序;和(c)对上述(b)工序中除去胺的剥离废液进行分别蒸馏而仅获取有机溶剂的工序。

    抗蚀剂剥离废液再生方法和再生装置

    公开(公告)号:CN101030047B

    公开(公告)日:2011-08-24

    申请号:CN200710086162.1

    申请日:2007-03-05

    摘要: 本发明提供一种抗蚀剂剥离废液再生方法和再生装置,所述再生方法和再生装置特别适于经济性较好地对使用含有各种专门的胺化合物的剥离液的剥离工序时以及使用各种抗蚀剂和剥离液时所产生的抗蚀剂剥离废液进行再生。本发明的再生装置适用于该再生方法。本发明的抗蚀剂剥离废液的再生方法是对含有水、抗蚀剂、胺化合物、有机溶剂的抗蚀剂剥离废液进行再生的方法,该方法的特征在于,其含有:(a)添加酸的工序,所述酸与抗蚀剂剥离废液的胺化合物发生反应而使得胺化合物形成在有机溶剂蒸馏时不被蒸馏的胺-酸化合物;和(b)对上述(a)工序的反应产物进行分别蒸馏而仅获取有机溶剂的工序。