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公开(公告)号:CN104808439B
公开(公告)日:2019-12-31
申请号:CN201510036077.9
申请日:2015-01-23
Abstract: 本发明提供了光致抗蚀剂组合物及制造薄膜晶体管基板的方法。光致抗蚀剂组合物包含相对于约100重量份的丙烯酰基共聚物为约0.1重量份至约30重量份的光引发剂、约1重量份至50重量份的包括至少五个官能团的第一丙烯酸酯单体、约1重量份至50重量份的包括至多四个官能团的第二丙烯酸酯单体。
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公开(公告)号:CN105190782A
公开(公告)日:2015-12-23
申请号:CN201480020441.6
申请日:2014-04-07
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,根据本发明的负型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物可通过将以往的SiNx钝化(Passivation)/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双层结构形成为单层(layer)来实现工序简化和生产费用降低,不仅灵敏度、分辨率、工艺窗口、透明性、耐热变色性、平坦度等性能优异,尤其能够实现低电容率绝缘膜,从而能够降低耗电,并且能够消除残影、串扰(Crosstalk)和阈值电压的位移(Shift)现象。此外,由于以优异的耐热性而能够实现低脱气(Outgassing),因此能够确保优异的面板(Panel)可靠性。由此,在多种多样的显示器中不仅能够有效地用于钝化绝缘膜、栅极绝缘膜,还能够用于平坦化膜等。
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公开(公告)号:CN103995436A
公开(公告)日:2014-08-20
申请号:CN201410053044.0
申请日:2014-02-17
Abstract: 光敏树脂组合物包含:丙烯酸共聚物,其含有包括选自不饱和羧酸及不饱和羧酸酐的至少一种的第一单体,以及包括烯烃类不饱和化合物的第二单体的聚合反应产物;光敏组分,其包含选自由化学式1至化学式4表示的化合物中的至少一种1,2-二叠氮醌-5-磺酸酯化合物;偶联剂;和溶剂,其中如通过高效液相色谱法所测定,光敏组分中不对称化合物的总量大于或等于45面积百分比:其中R1是羟基或甲基,并且NQD是1,2-二叠氮醌-5-磺酰基。
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公开(公告)号:CN103052916A
公开(公告)日:2013-04-17
申请号:CN201180037435.8
申请日:2011-07-15
Applicant: 株式会社东进世美肯
CPC classification number: G03F7/032 , G03F7/031 , G03F7/033 , G03F7/037 , G03F7/0757
Abstract: 本发明涉及一种感应长波长UV的负型感光性树脂组合物,尤其涉及一种包含a)i)丙烯酸类共聚物、ii)聚酰亚胺类共聚物、iii)硅氧烷类共聚物中的单独或者混合共聚物;b)光引发剂;c)特定结构的吖啶类光敏剂(Photosensitizer)的负型感光性树脂组合物。根据本发明的负型感光性树脂组合物,其分辨率、透射率、耐热变色性、粘接力等优秀,尤其在405nm~435nm的UV长波长中敏感度优秀,因而适用于GH-line专用曝光机或者下一代数码曝光机。
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公开(公告)号:CN114690559A
公开(公告)日:2022-07-01
申请号:CN202111666913.3
申请日:2021-12-31
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 本发明涉及一种感光性树脂组合物、固化膜及显示装置。本发明的感光性树脂组合物,是一种耐化学性优秀的低温固化用负型感光性树脂组合物,具体来讲是一种相对于碱溶性树脂100重量份,包含引发剂0.1至20重量份、多官能性单体1至50重量份、含氟光固化化合物1至20重量份以及防氧化剂0.2至10重量份,从而具有适合于显示装置元件的优秀的图案特性、粘接力、硬度以及耐化学性且可以形成具有柔韧性的固化膜的感光性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN104808439A
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201510036077.9
申请日:2015-01-23
Abstract: 本发明提供了光致抗蚀剂组合物及制造薄膜晶体管基板的方法。光致抗蚀剂组合物包含相对于约100重量份的丙烯酰基共聚物为约0.1重量份至约30重量份的光引发剂、约1重量份至50重量份的包括至少五个官能团的第一丙烯酸酯单体、约1重量份至50重量份的包括至多四个官能团的第二丙烯酸酯单体。
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公开(公告)号:CN102246095B
公开(公告)日:2014-04-02
申请号:CN200980149593.5
申请日:2009-12-09
Applicant: 株式会社东进世美肯
IPC: G03F7/039
CPC classification number: G03F7/0757 , G03F7/0233 , G03F7/40
Abstract: 本发明涉及正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,具体涉及含有低聚硅氧烷化合物的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,所述低聚硅氧烷化合物是使i)由下述化学式1表示的含有1-3个苯基的反应性硅烷和ii)由化学式2表示的4官能反应性硅烷的硅烷单体在催化剂存在下进行水解和缩聚而得到,所述低聚硅氧烷化合物的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)为1,000至2,0000。根据本发明的正型感光性有机-无机混合绝缘膜组合物,可以将现有的SiNx钝化/丙烯酸系感光性有机绝缘膜的双重结构形成为一层(layer),从而能够带来工序的简化和生产费用的节约,不仅灵敏度、分辨率、工艺裕度、透明性、耐热变色性等性能优异,特别是使低介电常数绝缘膜成为可能,从而能够降低耗电,并消除残像、串扰、以及阈值电压的漂移现象。另外,使优异的耐热性带来的低释气成为可能,从而能够确保优异的面板可靠性。由此可以在各种显示器中不仅能够有用地适用于钝化绝缘膜、栅绝缘膜,而且还能够有用地适用于平坦化膜等。
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公开(公告)号:CN118475878A
公开(公告)日:2024-08-09
申请号:CN202280085404.8
申请日:2022-11-14
Applicant: 株式会社东进世美肯
Abstract: 提供一种在低温固化工程中形成图案时形成正向锥度且具有高硬度的感光性树脂组合物。本发明的一实施例提供一种包含100重量份的碱溶性树脂、2至40重量份的引发剂、2至100重量份的多官能化合物、超过1且30以下重量份的增塑剂以及超过0且15以下重量份的环氧类添加剂的感光性树脂组合物。
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公开(公告)号:CN109752923A
公开(公告)日:2019-05-14
申请号:CN201811325064.3
申请日:2018-11-08
IPC: G03F7/033
Abstract: 根据本发明的一实施例的感光性树脂组成物相对于丙烯酸系共聚物100重量份而包括:0.1至20重量份的自由基光引发剂;0.1至10重量份的离子光引发剂;1至50重量份的多官能团丙烯酸酯低聚物;1至50重量份的具有烯键式不饱和键的多官能团单体;以及溶剂。
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