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公开(公告)号:CN1271685C
公开(公告)日:2006-08-23
申请号:CN200310115735.0
申请日:2003-11-28
申请人: 株式会社华祥
IPC分类号: H01L21/302 , H01L21/00 , B08B3/00
CPC分类号: H01L21/67173 , B65G49/0481 , H01L21/67057 , H01L21/67276 , Y10S134/902
摘要: 提供一种基板处理装置和在基板处理装置上的基板输送装置,基板处理装置由处理基板的处理槽、沿处理槽设置的输送轨道、在输送轨道上移动和输送基板的基板输送装置构成,不增加基板处理装置的占地面积,可以提高基板处理的吞吐量。设置有在同一路径上可以移动的第一和第二基板输送装置,该第一和第二基板输送装置可以以多个处理槽作为相互可以移动的通用范围。此外用由程序机生成的调度程序数据发生同时在多个处理槽输送基板的情况下,参照基板输送分担处理条件,确定调度程序数据。
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公开(公告)号:CN1505108A
公开(公告)日:2004-06-16
申请号:CN200310115735.0
申请日:2003-11-28
申请人: 株式会社华祥
IPC分类号: H01L21/302 , H01L21/00 , B08B3/00
CPC分类号: H01L21/67173 , B65G49/0481 , H01L21/67057 , H01L21/67276 , Y10S134/902
摘要: 提供一种基板处理装置和在基板处理装置上的基板输送装置,基板处理装置由处理基板的处理槽、沿处理槽设置的输送路线、在输送路线上移动和输送基板的基板输送装置构成,不增加基板处理装置的占地面积,可以提高基板处理的吞吐量。设置有在同一路径上可以移动的至少2个以上的基板输送装置,输送基板的上述基板输送装置可以相互重叠地在多个处理槽移动。此外用由程序机生成的调度程序数据发生同时在多个处理槽输送基板的情况下,参照基板输送分担处理条件,确定调度程序数据。
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