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公开(公告)号:CN1143762C
公开(公告)日:2004-03-31
申请号:CN00100827.7
申请日:2000-01-20
申请人: 株式会社厄泰克斯
CPC分类号: B26D7/086 , Y10S83/956 , Y10T83/04 , Y10T83/0505 , Y10T83/364 , Y10T83/536 , Y10T83/538 , Y10T83/7793 , Y10T83/9379
摘要: 本发明公开了一种超声波振动切割装置,其包括:安装在装置本体上的搭载台;安装在装置本体上并可沿前后、左右、上下相互垂直的3个方向直线运动的三轴驱动机构;用于切断搭载台上所固定的切割对象部件并安装在三轴驱动机构的三方向输出部上的超声波振动旋转机构,所述超声波振动旋转机构包括安装在三轴驱动机构的三方向输出部上的固定外壳;可旋转地装在固定外壳内部的旋转内壳;容纳在旋转内壳内的振子;与振子结合并与旋转内壳同轴状地配置的共振器;从共振器的固定外壳及旋转内壳的一端向外侧突出的设置在最小振动振幅点处的振动变换部,设置在振动变换部的外周部上的切刀;及安装在固定外壳另一端部并且使旋转内壳旋转的驱动源。
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公开(公告)号:CN1261568A
公开(公告)日:2000-08-02
申请号:CN00100827.7
申请日:2000-01-20
申请人: 株式会社厄泰克斯
IPC分类号: B23K20/10
CPC分类号: B26D7/086 , Y10S83/956 , Y10T83/04 , Y10T83/0505 , Y10T83/364 , Y10T83/536 , Y10T83/538 , Y10T83/7793 , Y10T83/9379
摘要: 本发明适用于切断半导体晶片等。在搭载台4固定切割对象部件,让超声波振动旋转机构12下降,使超声波振动旋转机构12的切刀到达对切割对象部件可切削的位置,然后,停止超声波振动旋转机构12的下降,使超声波振动旋转机构12进行便于切断的直线运动,同时旋转驱动切刀使其进行超声波振动,把切割对象部件切断。
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