公开(公告)号：CN102565281B

公开(公告)日：2016-09-14

申请号：CN201110407489.0

申请日：2011-12-08

申请人： 株式会社堀场STEC

发明人： 桥本雄一郎 ,  宫地润一

IPC分类号： G01N33/00

CPC分类号： G05D11/132 ,  G01N33/0006 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T137/8729 ,  Y10T137/87314 ,  Y10T137/87676

摘要： 本发明提供气体浓度调节装置和气体浓度调节方法，能防止标准气体管线(3)中的标准气体的滞留，从而能防止因标准气体的吸附和变质等造成标准气体的浓度降低。所述气体浓度调节装置包括：稀释气体管线(2)，设置有稀释气体流量调节机构(23)；标准气体管线(3)，设置有标准气体流量调节机构(33)；输出气体管线(4)，将稀释气体管线(2)和标准气体管线(3)汇合并输出规定浓度的标准气体；排气管线(5)，在标准气体管线(3)上与标准气体流量调节机构(33)的上游一侧连接，设置有开关阀和流量调节部；以及控制部(6)，根据流过标准气体管线(3)的标准气体的流量或所述标准气体的种类，切换开关阀的开闭。

公开(公告)号：CN102565281A

公开(公告)日：2012-07-11

申请号：CN201110407489.0

申请日：2011-12-08

申请人： 株式会社堀场STEC

发明人： 桥本雄一郎 ,  宫地润一

IPC分类号： G01N33/00

CPC分类号： G05D11/132 ,  G01N33/0006 ,  Y10T137/0318 ,  Y10T137/7759 ,  Y10T137/7761 ,  Y10T137/87249 ,  Y10T137/8729 ,  Y10T137/87314 ,  Y10T137/87676

摘要： 本发明提供气体浓度调节装置和气体浓度调节方法，能防止标准气体管线(3)中的标准气体的滞留，从而能防止因标准气体的吸附和变质等造成标准气体的浓度降低。所述气体浓度调节装置包括：稀释气体管线(2)，设置有稀释气体流量调节机构(23)；标准气体管线(3)，设置有标准气体流量调节机构(33)；输出气体管线(4)，将稀释气体管线(2)和标准气体管线(3)汇合并输出规定浓度的标准气体；排气管线(5)，在标准气体管线(3)上与标准气体流量调节机构(33)的上游一侧连接，设置有开关阀和流量调节部；以及控制部(6)，根据流过标准气体管线(3)的标准气体的流量或所述标准气体的种类，切换开关阀的开闭。