气体浓度调节装置和气体浓度调节方法

    公开(公告)号:CN102565281B

    公开(公告)日:2016-09-14

    申请号:CN201110407489.0

    申请日:2011-12-08

    IPC分类号: G01N33/00

    摘要: 本发明提供气体浓度调节装置和气体浓度调节方法,能防止标准气体管线(3)中的标准气体的滞留,从而能防止因标准气体的吸附和变质等造成标准气体的浓度降低。所述气体浓度调节装置包括:稀释气体管线(2),设置有稀释气体流量调节机构(23);标准气体管线(3),设置有标准气体流量调节机构(33);输出气体管线(4),将稀释气体管线(2)和标准气体管线(3)汇合并输出规定浓度的标准气体;排气管线(5),在标准气体管线(3)上与标准气体流量调节机构(33)的上游一侧连接,设置有开关阀和流量调节部;以及控制部(6),根据流过标准气体管线(3)的标准气体的流量或所述标准气体的种类,切换开关阀的开闭。

    带有流量监测器的压力式流量控制装置

    公开(公告)号:CN103518165B

    公开(公告)日:2016-06-08

    申请号:CN201280022338.6

    申请日:2012-04-05

    IPC分类号: G05D7/06

    摘要: 一种带有流量监测器的压力式流量控制装置,由下列部件构成:流体的入口侧通路(8);控制阀(3),与入口侧通路(8)的下游侧连接并构成压力式流量控制部(1a);热式流量传感器(2),与控制阀(3)的下游侧连接;节流口(6),介入设置在与热式流量传感器(2)的下游侧连通的流体通路(10);温度传感器(4),设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10)的附近;压力传感器(5),设在控制阀(3)与节流口(6)之间的流体通路(10);出口侧通路(9),与节流口(6)连通;以及控制部(7),由压力式流量运算控制部(7a)及流量传感控制部(7b)构成,该压力式流量运算控制部(7a)被输入来自压力传感器(5)的压力信号及来自温度传感器(4)的温度信号,对流通于节流口(6)的流体的流量值Q进行运算,并且,向阀驱动部(3a)输出使控制阀(3)沿所运算的流量值与设定流量值的差减少的方向进行开闭动作的控制信号Pd,该流量传感控制部(7b)被输入来自热式流量传感器(2)的流量信号(2c)并根据该流量信号(2c)而将流通于节流口(6)的流体流量运算显示。