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公开(公告)号:CN105157793A
公开(公告)日:2015-12-16
申请号:CN201510245823.5
申请日:2015-05-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F25/00
CPC classification number: G05D7/0641 , Y10T137/0396 , Y10T137/7758
Abstract: 本发明提供一种流量传感器的检查系统,其能够对应检查对象的流量传感器向流道内充以适当的压力,并且大幅缩短至检查开始为止的等待时间。所述流量传感器的检查系统包括:针对在设置有所述检查对象的流量传感器的、上游侧流道的下游中分路的多个分路流道分别设置的流阻;针对所述各分路流道分别设置的阀门;流体传感器,至少一部分与所述各流阻相比设置在靠上游侧,测定流体的压力或流量;以及阀门开闭控制部,在检查所述检查对象的流量传感器时,将所述各阀门设为多个敞开的状态。
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公开(公告)号:CN105283737A
公开(公告)日:2016-01-27
申请号:CN201480030199.0
申请日:2014-08-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G01F1/69 , G01F1/696 , G01N25/18 , G05D7/0635
Abstract: 根据作为与测量对象的流体的流量变化时的上游侧电压的变化率相关的值的上游侧参数和作为与所述测量对象的流体的流量变化时的下游侧电压的变化率相关的值的下游侧参数,计算表示与流体的热导率对应的固有的值的流体固有值。
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公开(公告)号:CN105264341B
公开(公告)日:2019-12-31
申请号:CN201480031064.6
申请日:2014-09-08
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F1/698
Abstract: 本发明提供一种热式流量计,能比以往更高精度地修正与环境温度对应地变化的零点误差和量程误差,并且能通过通用的计算式与流体种类无关地简单地计算用于修正的修正量,从而能够减少进行确定的时间和劳力,该热式流量计包括:流道,测量对象的流体流过该流道;上游电阻元件,设置在所述流道的上游;下游电阻元件,设置在所述流道的下游;流量计算部,基于上游电压、下游电压和所述测量对象的流体的热导率来计算所述测量对象的流体的流量,所述上游电压是向所述上游电阻元件施加的电压,所述下游电压是向所述下游电阻元件施加的电压。
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公开(公告)号:CN105283737B
公开(公告)日:2018-12-28
申请号:CN201480030199.0
申请日:2014-08-22
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体分析装置及方法、热式流量计、质量流量控制器、流体性质确定装置。根据作为与测量对象的流体的流量变化时的上游侧电压的变化率相关的值的上游侧参数和作为与所述测量对象的流体的流量变化时的下游侧电压的变化率相关的值的下游侧参数,计算表示与流体的热导率对应的固有的值的流体固有值。
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公开(公告)号:CN105264341A
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201480031064.6
申请日:2014-09-08
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F1/698
Abstract: 本发明提供一种热式流量计,能比以往更高精度地修正与环境温度对应地变化的零点误差和量程误差,并且能通过通用的计算式与流体种类无关地简单地计算用于修正的修正量,从而能够减少进行确定的时间和劳力,该热式流量计包括:流道,测量对象的流体流过该流道;上游电阻元件,设置在所述流道的上游;下游电阻元件,设置在所述流道的下游;流量计算部,基于上游电压、下游电压和所述测量对象的流体的热导率来计算所述测量对象的流体的流量,所述上游电压是向所述上游电阻元件施加的电压,所述下游电压是向所述下游电阻元件施加的电压。
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