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公开(公告)号:CN117687443A
公开(公告)日:2024-03-12
申请号:CN202311153003.4
申请日:2023-09-07
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor: 马克西米利安·冈德拉赫 , 帕特里克·劳瑞 , 安田忠弘
IPC: G05D7/06
Abstract: 提供了一种混合流量比率控制器系统,其包括:被配置为接收总的入口流体流量的入口以及三个以上分配通道。三个以上分配通道中的每个分配通道都具有相应的可变流量控制阀并且输送总的入口流体流量的相应的部分。混合流量比率控制器还包括可操作地连接到相应的可变流量控制阀的控制器。控制器被配置为按照流量比率控制模式根据入口流体流量的预定流量比率来控制至少第一分配通道的流量;在流量控制模式或压力控制模式下控制至少第二分配通道的流量;并且在溢流模式下控制第三分配通道。
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公开(公告)号:CN109716257B
公开(公告)日:2022-04-05
申请号:CN201780055407.6
申请日:2017-08-25
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor: 安田忠弘 , 帕特里克·艾伦·洛厄里 , 威廉·怀利·怀特 , 布莱恩·詹姆斯·埃伯特 , 麦斯米兰·马丁·冈德拉赫 , 约翰·托马斯·迪克
Abstract: 为了提供一种不仅能达成目标流量比率而且能对到达成该目标流量比率为止所耗费的时间进行控制的流量比率控制装置,本流量比率控制装置包括:主流道;多个分支流道,从所述主流道的末端分支;多个流体控制装置,设于各个分支流道上,分别包括阀以及配置于所述阀的下游侧的压力式流量传感器;以及动作设定部,基于目标流量比率进行设定,以使多个流体控制装置中的任意一个流体控制装置以流速控制模式进行动作,并且使除此以外的流体控制装置以流量控制模式进行动作,所述流速控制模式是用于对比各个阀更靠上游侧的流体的流速进行控制的模式,所述流量控制模式是基于所述目标流量来控制流量的模式。
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公开(公告)号:CN110045755A
公开(公告)日:2019-07-23
申请号:CN201811599444.6
申请日:2018-12-26
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 为了提供不需要重新组装流体控制阀就能够以无级方式制作校准数据的校准数据制作装置、校准数据制作方法和流量控制装置,校准数据制作装置制作位置传感器的校准数据,位置传感器设于控制流体的流体控制阀,输出与相对于阀座在接触分离方向上移动的阀体的位置对应的输出值,所述校准数据制作装置包括:流量传感器;压差控制机构;温度控制机构;以及控制部,所述控制部包括:输出值取得部;阀开度控制部;以及校准数据制作部。
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公开(公告)号:CN104075006B
公开(公告)日:2018-09-11
申请号:CN201410085507.1
申请日:2014-03-10
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀,流体控制阀具备的隔膜结构具有弱反弹性且即使不从致动器施加大的力也能够大幅变形从而增大行程,并且即使隔膜结构较薄形成也很难发生缺陷和不良,从而能够实现流体控制阀的大口径和大输出化。流体控制阀(V)具有隔膜结构(4)和按压所述隔膜结构(4)的致动器(3),所述隔膜结构(4)包括:形成为筒状且被所述致动器(3)按压的突出部(42)、从所述突出部(42)的基端相对于该突出部(42)向外侧扩展的凸缘部(41)、以及形成于所述凸缘部(41)的外周并被安装于其他构件的支承部(FI),所述凸缘部(41)形成为膜状。
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公开(公告)号:CN103671939B
公开(公告)日:2018-09-11
申请号:CN201310353899.0
申请日:2013-08-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供阀部件和流体控制阀,能够提高流体控制阀封闭时的密封性,并且能够长时间保持耐久性并提高稳定性,该阀部件构成阀座面(4a)或接合面(6a)的一方,其包括:凹部(61),形成在与阀座面(4a)相对的对置面上;以及树脂涂层(62),形成在凹部(61)内,与阀座面(4a)接触。
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公开(公告)号:CN102829828B
公开(公告)日:2016-12-28
申请号:CN201210200481.1
申请日:2012-06-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: G05D7/0635 , G01F1/36 , G01F1/50 , Y10T137/7722
Abstract: 本发明提供流量测量装置(10)和流量控制装置(100),能提高流量测量精度而不损害紧凑性。流量测量装置(10)包括:流过测量对象流体的流体阻力部件(3);上游压力传感器(21),能依对象流体导向的感压面上粘贴的电阻元件(2B)的电阻值的变化测量流体阻力部件(3)的上游压力,且能依电阻元件(2B)因温度产生的电阻值的变化测量所述感压面的温度;温度检测部件(8),配置于能测量流过流体阻力部件(3)的对象流体的温度的位置;以及流量计算部(9),至少根据由上游压力传感器(21)测量到的上游流路的压力、所述流体阻力部件的压力—流量特性、由上游压力传感器(21)测量到的压力传感器的温度和由温度检测部件(8)测量到的流体阻力部件(3)中的对象流体的温度,计算出该对象流体的流量。
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公开(公告)号:CN101903840B
公开(公告)日:2012-09-05
申请号:CN200880121724.4
申请日:2008-12-16
Applicant: 株式会社堀场STEC
Inventor: 安田忠弘
IPC: G05D7/06
CPC classification number: G05D11/132 , Y10T137/2521 , Y10T137/2524 , Y10T137/2529 , Y10T137/7762
Abstract: 本发明的目的在于提供一种流量比率控制装置,其无须多个种类的设备,能够减少部件种类的数量,降低成本。本发明的流量比率控制装置具备相同的差压式流量控制装置(MFC1,MFC2)以及把指令赋予所述流量控制装置(MFC1,MFC2)并对其进行控制的控制处理装置(C),在从主流道(ML)的终端开始分支的分支流道(BL1,BL2)上,以相互反向的方式设置所述流量控制装置(MFC1,MFC2),让设置在其中一条分支流道(BL1)上的流量控制装置(MFC1)动作,使得其检测压力成为预定的目标压力,另一方面,对设置在另一条分支流道(BL2)上的流量控制装置(MFC2)而言,根据测定流量的总量与预先设定的流量比率,设定应该流过该流量控制装置(MFC2)的目标流量,并让该流量控制装置(MFC2)动作,使得流过该流量控制装置(MFC2)的流量成为所述目标流量。
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公开(公告)号:CN109000020A
公开(公告)日:2018-12-14
申请号:CN201810563061.7
申请日:2018-06-04
Applicant: 株式会社堀场STEC
Abstract: 本发明提供流体控制装置、存储介质和控制方法,所述流体控制装置在完全关闭时实现高密封性,并且即使与现状相比不提高机械精度,也能够抑制阀体或阀座面的损伤,所述流体控制装置包括:设置在流体流动的流道上的流体控制阀;以及控制所述流体控制阀的控制机构,所述流体控制阀包括:阀座面;相对于所述阀座面离合的阀体;以及驱动所述阀体的致动器,所述控制机构包括速度调节部,当使所述阀体接近所述阀座面而使所述流体控制阀完全关闭时,在所述阀座面与所述阀体之间成为规定距离之后,所述速度调节部使所述阀体的移动速度比所述阀座面与所述阀体之间成为所述规定距离之前下降。
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公开(公告)号:CN105157793A
公开(公告)日:2015-12-16
申请号:CN201510245823.5
申请日:2015-05-14
Applicant: 株式会社堀场STEC
IPC: G01F25/00
CPC classification number: G05D7/0641 , Y10T137/0396 , Y10T137/7758
Abstract: 本发明提供一种流量传感器的检查系统,其能够对应检查对象的流量传感器向流道内充以适当的压力,并且大幅缩短至检查开始为止的等待时间。所述流量传感器的检查系统包括:针对在设置有所述检查对象的流量传感器的、上游侧流道的下游中分路的多个分路流道分别设置的流阻;针对所述各分路流道分别设置的阀门;流体传感器,至少一部分与所述各流阻相比设置在靠上游侧,测定流体的压力或流量;以及阀门开闭控制部,在检查所述检查对象的流量传感器时,将所述各阀门设为多个敞开的状态。
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公开(公告)号:CN104075006A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201410085507.1
申请日:2014-03-10
Applicant: 株式会社堀场STEC
CPC classification number: F16K41/10 , F16K31/007 , Y10T137/7895 , F16K7/12 , F16K37/0091
Abstract: 本发明提供一种流体控制阀,流体控制阀具备的隔膜结构具有弱反弹性且即使不从致动器施加大的力也能够大幅变形从而增大行程,并且即使隔膜结构较薄形成也很难发生缺陷和不良,从而能够实现流体控制阀的大口径和大输出化。流体控制阀(V)具有隔膜结构(4)和按压所述隔膜结构(4)的致动器(3),所述隔膜结构(4)包括:形成为筒状且被所述致动器(3)按压的突出部(42)、从所述突出部(42)的基端相对于该突出部(42)向外侧扩展的凸缘部(41)、以及形成于所述凸缘部(41)的外周并被安装于其他构件的支承部(FI),所述凸缘部(41)形成为膜状。
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