公开(公告)号：CN102820865B

公开(公告)日：2016-08-10

申请号：CN201210188595.9

申请日：2012-06-08

Applicant: 株式会社大真空 ,  株式会社昭和真空

Inventor： 饭塚实 ,  草井强 ,  盐野忠久 ,  和田基毅 ,  迹边好寿

IPC: H03H3/02

Abstract: 在压电振动器件的制造装置中，设置气密密封室和检查室，该气密密封室通过在真空气氛下对多个密封构件进行加热接合而形成真空状态的内部空间，在内部空间中对电子部品元件进行气密密封；该检查室对压电振动器件的内部空间的气密状态进行检查，按前述气密密封室、前述检查室的顺序输送压电振动器件。

公开(公告)号：CN102820865A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201210188595.9

申请日：2012-06-08

Applicant: 株式会社大真空 ,  株式会社昭和真空

Inventor： 饭塚实 ,  草井强 ,  盐野忠久 ,  和田基毅 ,  迹边好寿

IPC: H03H3/02

Abstract: 在压电振动器件的制造装置中，设置气密密封室和检查室，该气密密封室通过在真空气氛下对多个密封构件进行加热接合而形成真空状态的内部空间，在内部空间中对电子部品元件进行气密密封；该检查室对压电振动器件的内部空间的气密状态进行检查，按前述气密密封室、前述检查室的顺序输送压电振动器件。