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1.

发明公开
阀无效

公开(公告)号：CN107076331A

公开(公告)日：2017-08-18

申请号：CN201580058536.1

申请日：2015-10-26

申请人： 株式会社富士金

发明人： 张兆宏 , 松田隆博

IPC分类号： F16K31/165 , F16K35/02

摘要： 本发明提供一种阀，即使因错误而供给操作流体也不会成为开启状态，可抑制气体因意外供给至半导体制造装置等。阀(1)具备：主体(4)，形成有流体流入路(4b)及流体流出路(4c)；隔膜(7)，用于流体流入路(4b)及流体流出路(4c)的开闭；心柱(9)，为了以隔膜(7)使流体流入路(4b)及流体流出路(4c)开闭，设置成可相对于隔膜(7)接近及离开地移动；与主体(4)连接的阀帽(5)及阀盖(6)；驱动单元(活塞(10)、操作流体导入室(10a)、操作流体导入路(10b)及第一压缩螺旋弹簧(11))，设置于阀帽(5)及阀盖(6)并通过从外部供给的操作流体来驱动心柱(9)；及阀机构(20)，设置在阀帽(5)及阀盖(6)，可开闭朝驱动单元之操作流体的通路。