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公开(公告)号：CN100565274C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200580020930.2
申请日：2005-06-15
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/4206 , G02B3/0043 , G02B3/0062 , G02B3/04 , G02B6/12002 , G02B6/30 , G02B6/32 , G02B6/3676 , G02B6/368 , G02B6/425
Abstract: 从光源Pa射出的光束(5a)进入衬底(1)后由于透镜带(2a)的作用而成为平行光束(6a)。平行光束(6a)到达衬底(1)的出射侧端表面，并在该处受到透镜带(3a)的作用，使该光束聚焦到透镜带(3a)的后侧聚焦位置Qa(焦点)。类似地，从光源Pb射出的光束(5b)在受到透镜带(2b)的作用之后也转换为衬底(1)内的平行光束(6b)，并且在透镜带(3b)的作用下进一步形成光束(7b)并聚焦在焦点Qb上，该点位于距衬底(1)表面距离为f的位置处。光源Pa和焦点Qa和Qb的y方向上的位置分别偏移一个距离，该距离等于透镜带(2a)和(3a)的旋转对称轴线(4a)和透镜带(2b)和(3b)的旋转对称轴线(4b)之间的间隔。
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公开(公告)号：CN101268012B
公开(公告)日：2012-12-26
申请号：CN200680034265.7
申请日：2006-10-02
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 林政俊
CPC classification number: G02B3/0075 , B81B2201/047 , B81C99/0085 , G02B3/0025 , G02B3/0068 , G02B5/1819 , G02B5/1852 , G02B27/4277 , Y10S359/90
Abstract: 在使用复数片透镜或DOE时难以实现高精度的对准。本发明是于内面具有微小构造的微小构造体及其制造方法，其包含：于第1层表面形成第1图案的步骤；于所形成的该第1层表面上使该第1层表面的一部分露出而形成牺牲层的步骤；于该牺牲层表面形成第2图案的步骤；于该牺牲层及该第1层表面的一部分上形成第2层的步骤；以及除去构成该牺牲层的构件的步骤；在于第1层表面形成该第1图案的步骤与于该牺牲层形成该第2图案的步骤中，分别以同一对准标记为基准形成图案。由此能实现高精度的对准。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1973238A
公开(公告)日：2007-05-30
申请号：CN200580020930.2
申请日：2005-06-15
Applicant: 株式会社尼康
CPC classification number: G02B6/4206 , G02B3/0043 , G02B3/0062 , G02B3/04 , G02B6/12002 , G02B6/30 , G02B6/32 , G02B6/3676 , G02B6/368 , G02B6/425
Abstract: 从光源Pa射出的光束(5a)进入衬底(1)后由于透镜带(2a)的作用而成为平行光束(6a)。平行光束(6a)到达衬底(1)的出射侧端表面，并在该处受到透镜带(3a)的作用，使该光束聚焦到透镜带(3a)的后侧聚焦位置Qa(焦点)。类似地，从光源Pb射出的光束(5b)在受到透镜带(2b)的作用之后也转换为衬底(1)内的平行光束(6b)，并且在透镜带(3b)的作用下进一步形成光束(7b)并聚焦在焦点Qb上，该点位于距衬底(1)表面距离为f的位置处。光源Pa和焦点Qa和Qb的y方向上的位置分别偏移一个距离，该距离等于透镜带(2a)和(3a)的旋转对称轴线(4a)和透镜带(2b)和(3b)的旋转对称轴线(4b)之间的间隔。
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公开(公告)号：CN102109626A
公开(公告)日：2011-06-29
申请号：CN201110052864.4
申请日：2006-10-02
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 林政俊
CPC classification number: G02B3/0075 , B81B2201/047 , B81C99/0085 , G02B3/0025 , G02B3/0068 , G02B5/1819 , G02B5/1852 , G02B27/4277 , Y10S359/90
Abstract: 本发明提供一种微小光学元件，于内部形成有供使用波长的光透射的光学材料所构成的构造体包围的中空部分，构造体的中空部分侧的面的形状，能使使用波长的光产生所希望光学特性的立体形状，且将用以连接中空部分与微小光学元件的外界空间的开口部设于构造体。由此能实现高精度的对准。
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公开(公告)号：CN101268012A
公开(公告)日：2008-09-17
申请号：CN200680034265.7
申请日：2006-10-02
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 林政俊
CPC classification number: G02B3/0075 , B81B2201/047 , B81C99/0085 , G02B3/0025 , G02B3/0068 , G02B5/1819 , G02B5/1852 , G02B27/4277 , Y10S359/90
Abstract: 在使用复数片透镜或DOE时难以实现高精度的对准。本发明是于内面具有微小构造的微小构造体及其制造方法，其包含：于第1层表面形成第1图案的步骤；于所形成的该第1层表面上使该第1层表面的一部分露出而形成牺牲层的步骤；于该牺牲层表面形成第2图案的步骤；于该牺牲层及该第1层表面的一部分上形成第2层的步骤；以及除去构成该牺牲层的构件的步骤；在于第1层表面形成该第1图案的步骤与于该牺牲层形成该第2图案的步骤中，分别以同一对准标记为基准形成图案。由此能实现高精度的对准。
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公开(公告)号：CN100368829C
公开(公告)日：2008-02-13
申请号：CN200480014330.0
申请日：2004-05-24
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 林政俊
IPC: G02B3/00
Abstract: 水平轴表示树脂的线性膨胀系数B与基底的线性膨胀系数A之比，垂直轴表示树脂的厚度。○表示没有由基底的损坏造成的树脂的剥离，×表示发生由基底的损坏造成的树脂的剥离。当从这些结果中判断(B/A)与不发生树脂剥离处的树脂厚度Y的关系时，获得下列关系(图中的曲线表示)：Y≤200/(B/A)+30…(1)；从该关系看出，如果树脂的厚度等于或小于30μm，则不发生剥离。但发现：如果(B/A)很小，则甚至在厚度大于30μm处也不发生剥离，只要满足上述的方程。
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公开(公告)号：CN1795400A
公开(公告)日：2006-06-28
申请号：CN200480014330.0
申请日：2004-05-24
Applicant: 株式会社尼康
Inventor： 林政俊
IPC: G02B3/00
Abstract: 水平轴表示树脂的线性膨胀系数B与基底的线性膨胀系数A之比，垂直轴表示树脂的厚度。O表示没有由基底的损坏造成的树脂的剥离，X表示发生由基底的损坏造成的树脂的剥离。当从这些结果中判断(B/A)与不发生树脂剥离处的树脂厚度Y的关系时，获得下列关系(图中的曲线表示)：Y≤200/(B/A)+30 (1)，从该关系看出，如果树脂的厚度等于或小于30μm，则不发生剥离。但发现：如果(B/A)很小，则甚至在厚度大于30μm处也不发生剥离，只要满足上述的方程。
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