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公开(公告)号：CN109643677A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201780051612.5
申请日：2017-06-28
申请人： 应用材料公司
CPC分类号： B81B7/0058 , B81B2201/047 , B81C1/00031 , B81C1/00412 , C23C16/4401 , C23C16/52 , H01L21/67288
摘要： 实施例包括用于检测颗粒、监测蚀刻或沉积速率、或控制晶圆制造工艺的操作的设备与方法。在实施例中，一个或多个微传感器被安装在晶圆处理装备上，并且能够即时测量材料沉积和移除速率。选择性地暴露微传感器，从而使得微传感器的感测层在另一个微传感器的主动操作期间通过被掩模层保护，并且当其他微传感器到达使用寿命末期时可以移除保护掩模层以暴露感测层。还描述并要求其他实施例。
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公开(公告)号：CN106604887A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201480080900.X
申请日：2014-08-04
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B25J7/00 , B81B3/0037 , B81B3/0062 , B81B2201/047 , B81B2203/0136 , B81B2203/053 , H02N1/002
摘要： 公开了一种三自由度MEMS静电活塞管致动器。该致动器包括两个结构。一个结构包括：多个固定的活塞状电极，所述多个固定的活塞状电极附接到基座，并且形成致动器的定子。第二结构包括多个移动的管状电极，所述多个移动的管状电极附接到上部结构的主体并形成致动器的转子。该转子通过机械弹簧连接到定子。致动器的转子提供3‑DOF运动，包括垂直平移和围绕结构的轴线的双轴旋转。本活塞管致动器利用能够使用宽广区域电极的构造，并且因此提供使得转子能够平移的高输出力或者能够使转子旋转的高输出转矩。
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公开(公告)号：CN105051588A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201480013893.1
申请日：2014-03-03
申请人： 皮克斯特隆尼斯有限公司
CPC分类号： G02B26/023 , B81B3/001 , B81B2201/047 , B81C1/00039 , B81C1/00476
摘要： 本发明提供用于显示图像的系统、方法以及设备。一个此设备包含衬底、界定贯穿其中形成的多个孔的升高孔层EAL、用于将所述EAL支撑在所述衬底上方的多个锚，以及位于所述衬底与所述EAL之间的多个显示元件。所述显示元件中的每个可以对应于由所述EAL界定的所述多个孔中的至少一个相应孔。每个显示元件还包含可移动部分，所述可移动部分通过将所述EAL支撑在所述衬底上方的对应的锚而被支撑在所述衬底上方。在一些实施方案中，一或多个光色散元件可以布置在穿过由所述EAL界定的所述孔的光学路径中。
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公开(公告)号：CN102361814B
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：CN201080013628.5
申请日：2010-03-19
申请人： 高通MEMS科技公司
CPC分类号： G02B26/001 , B81B3/0086 , B81B2201/047 , B81B2203/053 , B81B2207/053
摘要： 一种机电系统装置包括安置于衬底上的多个支撑件及安置于所述多个支撑件上的可变形反射层。所述可变形反射层包括沿第一方向延伸的多个实质上平行的列。每一列具有沿大体上垂直于所述第一方向的第二方向延伸的一个或一个以上狭槽。可在所述列的子部分的边界边缘处产生所述狭槽以便按机械方式部分地分开所述子部分而不会使其在电断开。一种制造机电装置的方法包括：在衬底上沉积导电可变形反射层；移除所述可变形层的一个或一个以上部分以形成多个电隔离列；及在所述列中的至少一者中形成至少一个横向狭槽。
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公开(公告)号：CN101636344B
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN200880008750.6
申请日：2008-03-07
申请人： 高通MEMS科技公司
发明人： 安娜·R·隆德尔甘 , 班加洛尔·R·纳塔拉鲁 , 叶夫根尼·古塞夫 , 詹姆斯·兰道夫·韦伯斯特 , 戴维·希尔德
CPC分类号： G02B26/001 , B81B3/0008 , B81B2201/047
摘要： 本发明提供包含MEMS装置(例如干涉式调制器)的装置、方法及系统，所述MEMS装置包含其中一层涂布多个表面的腔。所述层是保形或非保形的。在一些实施例中，所述层通过原子层沉积(ALD)形成。所述层优选包含介电材料。在一些实施例中，所述MEMS装置还展现出改进的特性，例如移动电极之间的改进的电绝缘性、减少的静摩擦及/或改进的机械性质。
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公开(公告)号：CN102809815A
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：CN201210182636.3
申请日：2012-06-01
申请人： 株式会社日本显示器东
CPC分类号： G02B26/02 , B81B3/0016 , B81B7/0029 , B81B2201/047 , B81B2203/06 , B81B2207/053 , B81C1/00 , B81C3/008 , G02B26/023 , G02B26/0841 , Y10T29/49117
摘要： 本发明以当注入使配置有机械式光闸的容器充满的油时，减少对光闸造成的损伤为目的。本发明的显示装置具有：具有断缝(46)且将空间包围的密封材料(44)；将密封材料(44)的断缝(46)封堵而形成密封空间的端部密封材料(50)；将密封空间装满的油(52)；保持一对光透过性基板(10、12)的间隔的间隔体(54)；光闸(14)；用于机械性地驱动光闸(14)且配置在油(52)内的驱动部(38)；和在一对光透过性基板(10、12)的相对的面的至少一方上形成的壁部(60)。壁部(60)具有配置在将密封材料(44)的断缝(46)和显示区域(48)之间的最短路径遮断的位置上的部分，并由构成间隔体(54)、光闸(14)以及驱动部(38)的材料形成。
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公开(公告)号：CN101228093B
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN200680026806.1
申请日：2006-07-20
申请人： 高通MEMS科技公司
发明人： 克拉伦斯·徐 , 钟元宿 , 苏里亚·普拉卡什·甘蒂 , 马尼什·科塔里 , 马克·W·迈尔斯 , 杰弗里·B·桑普塞尔 , 笹川照夫
CPC分类号： G02B26/001 , B81B3/007 , B81B2201/047 , B81B2203/0307 , B81B2203/053
摘要： MEMS装置的实施例包括导电可移动层，所述导电可移动层通过间隙与导电固定层间隔开，且由上覆在所述导电可移动层中凹陷上的刚性支撑结构或铆钉支撑，或由下伏在所述导电可移动层中凹陷下的柱支撑。在某些实施例中，所述铆钉结构的若干部分延伸穿过所述可移动层并接触下伏的层。在其它实施例中，用于形成所述刚性支撑结构的材料也可用于钝化与所述MEMS装置电连接的原本暴露的电引线，从而保护所述电引线不受损坏或其它干扰。
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公开(公告)号：CN102320562A
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201110307854.0
申请日：2006-08-17
申请人： 高通MEMS科技公司
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0072 , B81B2201/047 , B81B2203/0163 , B81B2203/019 , B81B2203/0307 , B81B2203/053 , B81C1/00142 , B81C1/00666 , B81C2201/0167 , G02B26/001 , Y10S359/90
摘要： 本发明涉及用于在MEMS装置内形成层以实现锥形边缘的方法。某些MEMS装置包含经图案化以具有锥形边缘的层。一种形成具有锥形边缘的层的方法包含使用蚀刻前导层。另一种形成具有锥形边缘的层的方法包含沉积其中上部部分可以比下部部分快的速率蚀刻的层。另一种形成具有锥形边缘的层的方法包含使用多个反复蚀刻。另一种形成具有锥形边缘的层的方法包含使用具有包含负角的孔的剥离掩模层，使得可在所述剥离掩模层上沉积一层并去除所述掩模层，从而留下具有锥形边缘的结构。
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公开(公告)号：CN102317199A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201080007406.2
申请日：2010-01-27
申请人： 高通MEMS科技公司
发明人： 邦戈洛·R·纳塔拉詹 , 叶夫根尼·古塞夫 , 克里斯托弗尔·A·莱弗里
CPC分类号： B01J20/2808 , B01D53/261 , B01D53/28 , B01D2253/108 , B01J20/18 , B01J20/183 , B01J20/2803 , B01J2220/42 , B81B2201/047 , B81C1/00285 , B81C2201/112 , H01L23/26 , H01L51/5259 , H01L2924/0002 , H01L2924/09701 , H01L2924/12044 , H01L2924/1433 , Y10T156/10 , H01L2924/00
摘要： 本发明提供用于提供具有集成式干燥剂的MEMS装置的系统和方法。在一个实施例中，包含干燥剂的干燥组合物被冲击喷射到MEMS装置的背板或衬底上，且变得与所述衬底熔合。在另一实施例中，所述干燥剂被冲击喷射，以使得所述干燥剂粘附到被冲击喷射的表面。在又一实施例中，所述被冲击喷射的表面充满所述干燥剂。在再另一实施例中，所述干燥剂与合适的无机粘合剂组合，接着被冲击喷射，以使得所述干燥剂粘附到被冲击喷射的表面。在又进一步的实施例中，所述干燥剂经微粉化或粉化成所要颗粒大小的粉末，且接着被冲击喷射到表面上。因此，所述干燥剂颗粒或粉末经由冲击喷射工艺而熔合到目标表面上。
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公开(公告)号：CN101538004B
公开(公告)日：2011-09-07
申请号：CN200810111593.3
申请日：2008-06-10
申请人： 陈世忠
发明人： 陈世忠
CPC分类号： B81C1/00087 , B81B2201/047 , Y10T83/0481 , Y10T428/24479 , Y10T428/2457
摘要： 一种以微型制造方法制造用于显示设备并具有微细孔和预订的反射比率的基板及其制造方法，该方法包含以下步骤：提供一卷具有第一表面和第二表面的可挠性薄膜，该卷可挠性薄膜的第一表面和第二表面以一厚度相互分离，依据该预定的反射比率确定将要形成于基板第一表面内的各微细孔的一组维度参数，该组参数包括每个微细孔的直径以及相邻微细孔间的边距，该微细孔间边距小于或等于微细孔直径的二分之一，确定要形成的微细孔的深度，该深度小于该卷可挠性薄膜的该厚度，以及在可挠性薄膜的第一表面打孔，以自第一表面形成多个具有该组维度参数和该深度的微细孔，和多个从可挠性薄膜第二表面突出的凸起。
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