音圈电机、具备该音圈电机的动镜单元以及干涉分光光度计

    公开(公告)号:CN109643944A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201780046990.4

    申请日:2017-06-07

    IPC分类号: H02K33/18 G01J3/06 G01J3/45

    摘要: 提供一种音圈电机以及干涉分光光度计,即便在高速驱动时也能够将动镜与定镜的角度偏差抑制在1秒以下。音圈电机具备:固定部(71),固定有具有筒状部(73a)的磁轭(73)、以及设置在筒状部(73a)内的磁铁(74);移动部(72),固定有筒形状的线圈(72b),该线圈(72b)配置在磁轭(73)的筒状部(73a)与磁铁(74)之间;供电线(72c),连接线圈(72b)与电源,在磁轭(73)的筒状部(73a)形成有用于使供电线(72c)通过的狭缝(73c)、(73d),线圈(72c)经供电受到由磁铁(74)形成的电磁力,由此移动部(72)相对于固定部(71)往复移动,狭缝(73c)、(73d)形成为相对于磁轭(73)的圆筒部(73a)的中心轴对称。

    太阳电池单元检查装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102983089A

    公开(公告)日:2013-03-20

    申请号:CN201210184156.0

    申请日:2012-05-29

    IPC分类号: H01L21/66

    摘要: 本发明是有关于一种太阳电池单元检查装置,可在相同的位置,同时对反射影像与透射影像进行拍摄。太阳电池单元检查装置包括向半导体晶圆的第一面照射可见光的第一照射部;接收半导体晶圆所反射的可见光以取得半导体晶圆的反射影像的第一拍摄部;向与半导体晶圆的第一面相向的第二面照射红外光的第二照射部;接收透过半导体晶圆的红外光以取得半导体晶圆的透射影像的第二拍摄部;基于反射影像及透射影像,判定半导体晶圆是否存在缺陷的判定部。上述太阳电池单元检查装置的特征在于:包括配置在第一拍摄部及第二拍摄部之间的分束器。