气体压力控制器
    1.
    发明授权

    公开(公告)号:CN104956279B

    公开(公告)日:2018-02-27

    申请号:CN201380071402.4

    申请日:2013-01-28

    IPC分类号: G05D16/20

    摘要: 具备:绝缘性基板(2),其具有气体入口(4)和气体出口(6)且具有内部流路;阀机构,其包括MEMS阀元件(14),该MEMS阀元件(14)直接安装于上述绝缘性基板(2)的表面或者背面,并经由连通于上述内部流路的端口与上述内部流路连接;压力传感器部,其包括MEMS压力传感器元件(16),该MEMS压力传感器元件(16)直接安装于上述绝缘性基板(2)的表面或者背面,并经由连通于上述内部流路的端口与上述内部流路连接;以及控制部(22),其基于上述压力传感器部的检测信号对上述阀机构进行反馈控制。

    气体压力控制器
    2.
    发明公开

    公开(公告)号:CN104956279A

    公开(公告)日:2015-09-30

    申请号:CN201380071402.4

    申请日:2013-01-28

    IPC分类号: G05D16/20

    摘要: 具备:绝缘性基板(2),其具有气体入口(4)和气体出口(6)且具有内部流路;阀机构,其包括MEMS阀元件(14),该MEMS阀元件(14)直接安装于上述绝缘性基板(2)的表面或者背面,并经由连通于上述内部流路的端口与上述内部流路连接;压力传感器部,其包括MEMS压力传感器元件(16),该MEMS压力传感器元件(16)直接安装于上述绝缘性基板(2)的表面或者背面,并经由连通于上述内部流路的端口与上述内部流路连接;以及控制部(22),其基于上述压力传感器部的检测信号对上述阀机构进行反馈控制。

    导热系数检测器和气相色谱仪

    公开(公告)号:CN105510493B

    公开(公告)日:2017-11-03

    申请号:CN201510566584.3

    申请日:2015-09-08

    IPC分类号: G01N30/66 G01N30/02

    CPC分类号: G01N30/62 G01N25/18 G01N30/66

    摘要: 本发明提供一种导热系数检测器,其是使流体与经加热的温感元件的表面接触,根据流体的导热系数来使温感元件产生温度变化,利用此时的温感元件的电阻的变化或对温感元件施加的电流值的变化来进行流体的检测。该导热系数检测器具备:收纳温感元件且将流体导入和排出的单元空间、与单元空间的流体排出口连接的缓冲空间、和与缓冲空间的流体排出口连接的排出流路。

    导热系数检测器和气相色谱仪

    公开(公告)号:CN105510493A

    公开(公告)日:2016-04-20

    申请号:CN201510566584.3

    申请日:2015-09-08

    IPC分类号: G01N30/66 G01N30/02

    CPC分类号: G01N30/62 G01N25/18 G01N30/66

    摘要: 本发明提供一种导热系数检测器,其是使流体与经加热的温感元件的表面接触,根据流体的导热系数来使温感元件产生温度变化,利用此时的温感元件的电阻的变化或对温感元件施加的电流值的变化来进行流体的检测。该导热系数检测器具备:收纳温感元件且将流体导入和排出的单元空间、与单元空间的流体排出口连接的缓冲空间、和与缓冲空间的流体排出口连接的排出流路。