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公开(公告)号：CN104350380B
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201280073844.8
申请日：2012-09-10
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： G01B11/0633 , C23C14/30 , C23C14/54 , G01N21/8422
摘要： 表示的光学特性值，该测量装置同时测量多个所提供一种能够实现更高速的测量并能够获 述光学特性值。得更高精度的测量结果的装置，来作为对薄膜的光学特性值和光学膜厚值中的至少一个值进行测量的测量装置。对形成于监视基板(Sm)的薄膜的包括光学特性值和光学膜厚值中的至少一方的值进行测量的测量装置(101)具备：光信号产生机构(10)，其将多个LED单元(11a～11f)利用光学滤光镜所生成的单色光调制成对于每个光源单元互不相同的设定频率，并发出多个光信号；照射机构(20)，其对该多个光信号进行复用而生成复用信号，并通过光纤将复用信号向监视基板(Sm)照射；检测机构(30)，其通过光纤检测由监视基板(Sm)反射的复用信号并输出电信号；信号分离机构(50)，其对检测机构(30)所输出的电信号实施带通滤波器的滤波处理，从该电信号中将每个设定频率的成分信号分离出来；以及计(56)对比文件JP 特开2005-55407 A,2005.03.03,CN 1707307 A,2005.12.14,CN 1877298 A,2006.12.13,CN 2763776 Y,2006.03.08,CN 100477955 C,2009.04.15,JP 特开2009-222527 A,2009.10.01,
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公开(公告)号：CN104395690A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201280073820.2
申请日：2012-06-13
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/52 , C23C14/547 , G01B11/0625
摘要： 提供能够高精度地测量光学膜厚的膜厚测量装置。膜厚测量装置(6)具备：通过照射侧光纤(f1)向监视基板(Sm)照射光的投光器(11)、通过受光侧光纤(f2)接收从投光器(11)照射后由监视基板(Sm)反射的光的受光装置(22)、和捆扎多个照射侧光纤(f1)和多个受光侧光纤(f2)而形成的光学传感器用探头(13)，其中，在光学传感器用探头(13)的与监视基板(Sm)对置的末端面上分别配置有多个照射侧光纤(f1)的端面和多个受光侧光纤(f2)的端面，照射侧光纤(f1)的各个端面以与受光侧光纤(f2)的端面相邻的状态呈圆弧状或圆环状排列，并且，受光侧光纤(f2)的各个端面以与照射侧光纤(f1)的各个端面相邻的状态呈圆弧状或圆环状排列。
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公开(公告)号：CN104169676A
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201280069673.1
申请日：2012-02-27
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： G01B11/0633
摘要： 提供能够增大光量变化量的膜厚测量用的LED光源装置(30)。LED光源装置(30)配置有：多个LED发光源(34～36)；多个准直构件(342、352、362)，它们配置于各发光源的下游侧，并使来自各发光源的入射光分别准直地射出；多个第1滤光构件(37、38)，它们配置于各准直构件的下游侧，并仅使入射光中的特定波长区域以上的光透射和/或反射，或者仅使特定波长区域以下的光透射和/或反射而射出；以及聚光构件(39)，其配置于第1滤光构件(38)的更下游侧，并使来自各第1滤光构件的入射光会而射出，并且，在各准直构件(342、352、362)的下游侧且在各第1滤光构件(37、38)的上流侧，配置有仅使来自各准直构件的入射光中的特定范围的波长透射而射出的第2滤光构件(344、354、364)。
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公开(公告)号：CN104169676B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201280069673.1
申请日：2012-02-27
申请人： 株式会社新柯隆
摘要： 提供能够增大光量变化量的膜厚测量用的LED光源装置(30)。LED光源装置(30)配置有：多个LED发光源(34～36)；多个准直构件(342、352、362)，它们配置于各发光源的下游侧，并使来自各发光源的入射光分别准直地射出；多个第1滤光构件(37、38)，它们配置于各准直构件的下游侧，并仅使入射光中的特定波长区域以上的光透射和/或反射，或者仅使特定波长区域以下的光透射和/或反射而射出；以及聚光构件(39)，其配置于第1滤光构件(38)的更下游侧，并使来自各第1滤光构件的入射光会而射出，并且，在各准直构件(342、352、362)的下游侧且在各第1滤光构件(37、38)的上流侧，配置有仅使来自各准直构件的入射光中的特定范围的波长透射而射出的第2滤光构件(344、354、364)。
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公开(公告)号：CN104395690B
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201280073820.2
申请日：2012-06-13
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/52 , C23C14/547 , G01B11/0625
摘要： 提供能够高精度地测量光学膜厚的膜厚测量装置。膜厚测量装置(6)具备：通过照射侧光纤(f1)向监视基板(Sm)照射光的投光器(11)、通过受光侧光纤(f2)接收从投光器(11)照射后由监视基板(Sm)反射的光的受光装置(22)、和捆扎多个照射侧光纤(f1)和多个受光侧光纤(f2)而形成的光学传感器用探头(13)，其中，在光学传感器用探头(13)的与监视基板(Sm)对置的末端面上分别配置有多个照射侧光纤(f1)的端面和多个受光侧光纤(f2)的端面，照射侧光纤(f1)的各个端面以与受光侧光纤(f2)的端面相邻的状态呈圆弧状或圆环状排列，并且，受光侧光纤(f2)的各个端面以与照射侧光纤(f1)的各个端面相邻的状态呈圆弧状或圆环状排列。
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公开(公告)号：CN102472611B
公开(公告)日：2015-06-17
申请号：CN201080029355.3
申请日：2010-06-29
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： G01B11/06 , C23C14/34 , C23C14/547 , G01B11/0625
摘要： 本发明提供能够高精度地计测光学膜厚和分光特性的光学式膜厚计以及具有光学式膜厚计的薄膜形成装置。光学式膜厚计由投光器(11)、反射镜(17)、受光器(19)和分光器(20)构成，具有反射镜(17)，该反射镜(17)相对于测定光的入射方向位于实际基板(S)的相反侧，且反射面被配置成与测定光的光轴大致垂直。另外，实际基板(S)被配置成相对于测定光的光轴具有规定的倾斜角度(α)。测定光(出射光和反射光)2次透过实际基板(S)，能够增大透过率(光量)的变化量，能够提高膜厚测定的控制精度。另外，能够防止因透过位置的不同而产生测定误差，另外，在受光器(19)侧不会检测到未通过规定路径而2次透过测定基板的测定光，所以能够高精度地计测光学膜厚和分光特性。
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公开(公告)号：CN102892918B
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201180024261.1
申请日：2011-06-13
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： C23C14/545 , C23C14/3464 , C23C14/3492 , C23C14/505 , C23C14/547 , G02B5/28
摘要： 本发明的课题在于提供一种薄膜形成方法，其能够省去测试成膜所导致的成膜浪费，能够提高成膜效率。所述薄膜形成方法为：溅射靶材(29a、29b)，在保持于旋转筒(13)且旋转的基板(S)和监视基板(S0)上以目标膜厚T1形成作为第1薄膜的A膜后，再溅射用于A膜的形成的靶材(29a、29b)，用于以目标膜厚T3形成作为与A膜相同组成的其它薄膜的第2薄膜即C膜，所述薄膜形成方法具有膜厚监视工序S4、S5、停止工序S7、实际时间取得工序S8、实际速度计算工序S9和必要时间计算工序S24。
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公开(公告)号：CN104350380A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201280073844.8
申请日：2012-09-10
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： G01B11/0633 , C23C14/30 , C23C14/54 , G01N21/8422
摘要： 本发明提供一种能够实现更高速的测量并能够获得更高精度的测量结果的装置，来作为对薄膜的光学特性值和光学膜厚值中的至少一个值进行测量的测量装置。对形成于监视基板(Sm)的薄膜的包括光学特性值和光学膜厚值中的至少一方的值进行测量的测量装置(101)具备：光信号产生机构(10)，其将多个LED单元(11a～11f)利用光学滤光镜所生成的单色光调制成对于每个光源单元互不相同的设定频率，并发出多个光信号；照射机构(20)，其对该多个光信号进行复用而生成复用信号，并通过光纤将复用信号向监视基板(Sm)照射；检测机构(30)，其通过光纤检测由监视基板(Sm)反射的复用信号并输出电信号；信号分离机构(50)，其对检测机构(30)所输出的电信号实施带通滤波器的滤波处理，从该电信号中将每个设定频率的成分信号分离出来；以及计算机构(80)，其基于分离出来的每个设定频率的成分信号，按照每个设定频率计算出成分信号所表示的光学特性值，该测量装置同时测量多个所述光学特性值。
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公开(公告)号：CN102892918A
公开(公告)日：2013-01-23
申请号：CN201180024261.1
申请日：2011-06-13
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： C23C14/545 , C23C14/3464 , C23C14/3492 , C23C14/505 , C23C14/547 , G02B5/28
摘要： 本发明的课题在于提供一种薄膜形成方法，其能够省去测试成膜所导致的成膜浪费，能够提高成膜效率。所述薄膜形成方法为：溅射靶材(29a、29b)，在保持于旋转筒(13)且旋转的基板(S)和监视基板(S0)上以目标膜厚T1形成作为第1薄膜的A膜后，再溅射用于A膜的形成的靶材(29a、29b)，用于以目标膜厚T3形成作为与A膜相同组成的其它薄膜的第2薄膜即C膜，所述薄膜形成方法具有膜厚监视工序S4、S5、停止工序S7、实际时间取得工序S8、实际速度计算工序S9和必要时间计算工序S24。
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公开(公告)号：CN102472611A
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201080029355.3
申请日：2010-06-29
申请人： 株式会社新柯隆
CPC分类号： G01B11/06 , C23C14/34 , C23C14/547 , G01B11/0625
摘要： 本发明提供能够高精度地计测光学膜厚和分光特性的光学式膜厚计以及具有光学式膜厚计的薄膜形成装置。光学式膜厚计由投光器(11)、反射镜(17)、受光器(19)和分光器(20)构成，具有反射镜(17)，该反射镜(17)相对于测定光的入射方向位于实际基板(S)的相反侧，且反射面被配置成与测定光的光轴大致垂直。另外，实际基板(S)被配置成相对于测定光的光轴具有规定的倾斜角度(α)。测定光(出射光和反射光)2次透过实际基板(S)，能够增大透过率(光量)的变化量，能够提高膜厚测定的控制精度。另外，能够防止因透过位置的不同而产生测定误差，另外，在受光器(19)侧不会检测到未通过规定路径而2次透过测定基板的测定光，所以能够高精度地计测光学膜厚和分光特性。
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