公开(公告)号：CN112779507B

公开(公告)日：2024-02-09

申请号：CN201911094854.X

申请日：2019-11-11

申请人： 株式会社新柯隆

发明人： 盐田有广 ,  青山贵昭 ,  远藤光人 ,  长江亦周

IPC分类号： C23C14/34

摘要： 本申请提供一种成膜装置，包括：真空容器；绕垂直轴线转动的基板保持单元，其能保持多个基板；位于所述真空容器内部的成膜区域，所述成膜区域能够通过溅射从靶材释放出溅射离子到达所述基板；可拆卸地安装于所述真空容器内的隔离单元，其将所述成膜区域与所述真空容器内的其他区域隔开。本申请提供的成膜装置能够改善成膜质量。

公开(公告)号：CN112779507A

公开(公告)日：2021-05-11

申请号：CN201911094854.X

申请日：2019-11-11

申请人： 株式会社新柯隆

发明人： 盐田有广 ,  青山贵昭 ,  远藤光人 ,  长江亦周

IPC分类号： C23C14/34

摘要： 本申请提供一种成膜装置，包括：真空容器；绕垂直轴线转动的基板保持单元，其能保持多个基板；位于所述真空容器内部的成膜区域，所述成膜区域能够通过溅射从靶材释放出溅射离子到达所述基板；可拆卸地安装于所述真空容器内的隔离单元，其将所述成膜区域与所述真空容器内的其他区域隔开。本申请提供的成膜装置能够改善成膜质量。