公开(公告)号：CN102969338A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201210322625.0

申请日：2012-08-30

Applicant: 株式会社日本显示器东

Inventor： 野田刚史 ,  河村哲史

IPC: H01L29/06 ,  H01L29/786 ,  H01L21/336 ,  G02F1/1368

CPC classification number: H01L29/786 ,  G02F1/1368 ,  H01L27/12 ,  H01L27/1225 ,  H01L29/78606 ,  H01L29/78618 ,  H01L29/7869 ,  H01L29/78696

Abstract: 本发明涉及一种显示装置，包括薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括：栅极电极；覆盖栅极电极且包含绝缘物质的栅极绝缘层；与所述栅极绝缘层的上表面接触的氧化物半导体膜；分别与位于所述氧化物半导体膜的上表面且相互分离的第一区域和第二区域接触的源极电极及漏极电极；与所述第一区域和所述第二区域之间的第三区域接触且包含所述绝缘物质的沟道保护膜。俯视观察时，与所述栅极电极重叠的所述氧化物半导体膜的上表面的区域被包含于第三区域且很小，所述氧化物半导体膜中除了与所述栅极电极重叠的部分的一部分以外的部分的电阻比与所述栅极电极重叠的部分低。