公开(公告)号：CN1896697A

公开(公告)日：2007-01-17

申请号：CN200610105437.7

申请日：2006-07-05

申请人： 株式会社日立制作所

发明人： 半泽惠二 ,  岛田智 ,  保川彰夫 ,  齐藤直生 ,  中田圭一 ,  渡边泉

IPC分类号： G01F1/68 ,  F02D35/00 ,  G01P5/12 ,  H01L37/00 ,  H01L23/40

CPC分类号： G01F1/6845 ,  G01F1/692 ,  H01L2924/0002 ,  H01L2924/00

摘要： 实现一种成本不上升，可以降低对隔膜上的电阻体的应力传递，并抑制灵敏度、响应性等特性变化的气体流量计测装置。在隔膜(10)的周围的基板上形成有固定电阻(3、4)和测温电阻体(5)。这些电阻体通过端子(12～24)连接于外部。在隔膜(10)的周围以长度(Xd2)形成有“コ”字状的槽(11)，以便缓和从配置有端子(12～24)的部分向隔膜(10)的应力传递。槽(11)由横槽(11a)和两个纵槽(11b、11c)形成。检测元件(1)的形成有端子(12～24)的区域和形成有隔膜(10)的区域被横槽(11a)划分，形成有端子(12～24)的区域成为固定部。固定部的底部被胶粘剂固定于基板，欲向形成有隔膜(10)的区域传递的安装应力被应力缓和槽(11a)吸收。

公开(公告)号：CN1028447C

公开(公告)日：1995-05-17

申请号：CN91101796.8

申请日：1991-03-19

申请人： 株式会社日立制作所

发明人： 鹈饲征一 ,  岛田智 ,  飞田朋之 ,  佐濑昭

IPC分类号： G01L9/06

CPC分类号： G01L19/0092 ,  G01L9/0054 ,  G01L9/065

摘要： 在用于差压和静压传送器的集成复合传感器中，在静压检测薄片层上形成一对静压检测元件，在靠近差压检测薄片层中心的固定部分上形成另一对静压检测元件。出现在静压传感器中的差压产生的第二项是一个距离的函数，因此作用在每个静压检测元件上的影响相等。这样，通过将静压传感器构成一桥电路，可以检测到不受差压影响的静压值，因而有可能精确地确定差压和静压。