公开(公告)号：CN113795752B

公开(公告)日：2024-04-19

申请号：CN202080028677.X

申请日：2020-04-24

Applicant: 株式会社日立制作所 ,  丰田自动车株式会社

Inventor： 浅原彰规 ,  森田秀和 ,  金泽拓也 ,  小野宽太 ,  矢野正雄 ,  庄司哲也

IPC: G01N23/202

Abstract: 即使不存在充分地具有与散射体有关的前提知识的专家也能够进行分析作业，易于进行分析的自动化。本申请发明的优选的一侧面是基于散射图案算出表示试样的空间构造的空间参数分布的装置，该散射图案是向试样入射与试样相互作用的粒子束并检测出其散射的结果而得到的、试样的空间构造向波数空间的投影。在该装置中，具有相互作用估计部，其对于散射图案上的信号，建立对应并估计其在散射的过程中与试样的空间参数分布上的哪个点进行了相互作用。此外，具有参数分布算出部，其汇聚相互作用估计部的估计结果，算出适合于所汇聚的结果的试样的空间参数分布。此外，具有空间参数高精度化计算部，其交替地多次进行相互作用估计部的估计和参数分布算出部的计算，提高空间参数分布的估计精度。该装置是特征在于构成为以上那样的粒子束计测结果分析装置。

公开(公告)号：CN113795752A

公开(公告)日：2021-12-14

申请号：CN202080028677.X

申请日：2020-04-24

Applicant: 株式会社日立制作所 ,  丰田自动车株式会社

Inventor： 浅原彰规 ,  森田秀和 ,  金泽拓也 ,  小野宽太 ,  矢野正雄 ,  庄司哲也

IPC: G01N23/202

Abstract: 即使不存在充分地具有与散射体有关的前提知识的专家也能够进行分析作业，易于进行分析的自动化。本申请发明的优选的一侧面是基于散射图案算出表示试样的空间构造的空间参数分布的装置，该散射图案是向试样入射与试样相互作用的粒子束并检测出其散射的结果而得到的、试样的空间构造向波数空间的投影。在该装置中，具有相互作用估计部，其对于散射图案上的信号，建立对应并估计其在散射的过程中与试样的空间参数分布上的哪个点进行了相互作用。此外，具有参数分布算出部，其汇聚相互作用估计部的估计结果，算出适合于所汇聚的结果的试样的空间参数分布。此外，具有空间参数高精度化计算部，其交替地多次进行相互作用估计部的估计和参数分布算出部的计算，提高空间参数分布的估计精度。该装置是特征在于构成为以上那样的粒子束计测结果分析装置。