附着物收集装置以及附着物分析系统

    公开(公告)号:CN114096825A

    公开(公告)日:2022-02-25

    申请号:CN202080050377.1

    申请日:2020-06-17

    IPC分类号: G01N1/02

    摘要: 为了稳定地回收附着于检查对象物的附着物,特征为具备:向上喷射气体的喷嘴(111);具备喷射气体的开口部的上表面(105);回收向检查对象物(C)喷出的气体的回收口;以及检测检查对象物(C)是否接触了上表面(105)的接触检测传感器(130),通过气体收集附着于检查对象物(C)的附着物,喷嘴(111)的前端的高度与上表面(105)的高度大致相同,或者为上表面(105)的高度以下,在上表面(105)设置有凹部(121),凹部(121)相对于喷嘴(111)的喷射口(112)设置在回收口侧,并且与喷嘴(111)的喷射口(112)相接,或者包含喷嘴(111)的喷射口(112)。

    微粒分析装置、微粒分析系统以及清洗方法

    公开(公告)号:CN111902710A

    公开(公告)日:2020-11-06

    申请号:CN201980021602.6

    申请日:2019-03-01

    摘要: 为了在不将微粒分析装置停止、分解的情况下清洗微粒分析装置的内部,该微粒分析装置的特征在于,具有:旋流集尘装置(14);一级过滤器(16),其与旋流集尘装置(14)的下游连接,并被加热;气体分析装置(31),其与一级过滤器(16)连接;气体配管部,其将旋流集尘装置(14)与气体分析装置(31)连接,并设置有一级过滤器(16);以及清洗气体导入装置(21),其向气体配管部中的一级过滤器(16)的下游以及旋流集尘装置(14)中的至少一方导入清洗气体,在至少清洗一级过滤器(16)的清洗模式时,与利用气体分析装置(31)进行微粒的分析的分析模式时相比从清洗气体导入装置(21)导入的清洗气体的流量上升。

    附着物收集装置以及检查系统

    公开(公告)号:CN109196329B

    公开(公告)日:2021-08-17

    申请号:CN201780032937.9

    申请日:2017-05-29

    IPC分类号: G01N1/02 G01N1/22

    摘要: 为了稳定地从检查对象物剥离物质,其特征在于,具有喷出气体的喷出口(n)、具有喷出口(n)的箱体(B)、以及设置于箱体(B)的具备喷出口(n)的面且具有预定高度的支撑部(H)。并且,其特征在于,支撑部(H)是形成于箱体(B)的凸形状部。另外,其特征在于,支撑部(H)具有长方体形状,并且设置为随着朝向回收因气体而从检查对象物(C)剥离出的物质的回收口的方向,彼此距离变短。

    附着物收集装置以及检查系统

    公开(公告)号:CN109196329A

    公开(公告)日:2019-01-11

    申请号:CN201780032937.9

    申请日:2017-05-29

    IPC分类号: G01N1/02 G01N1/22

    摘要: 为了稳定地从检查对象物剥离物质,其特征在于,具有喷出气体的喷出口(n)、具有喷出口(n)的箱体(B)、以及设置于箱体(B)的具备喷出口(n)的面且具有预定高度的支撑部(H)。并且,其特征在于,支撑部(H)是形成于箱体(B)的凸形状部。另外,其特征在于,支撑部(H)具有长方体形状,并且设置为随着朝向回收因气体而从检查对象物(C)剥离出的物质的回收口的方向,彼此距离变短。

    离子阱、质量分析计、离子迁移率分析计

    公开(公告)号:CN101335177A

    公开(公告)日:2008-12-31

    申请号:CN200810109182.0

    申请日:2008-05-23

    IPC分类号: H01J49/40 H01J49/42 H01J49/02

    CPC分类号: H01J49/4225 G01N27/622

    摘要: 本发明提供一种离子阱、质量分析计、离子迁移率分析计,其课题在于提供一种小型、廉价、简便的质量分析单元,其能够应用可以实现无需在以往的质量分析方法中必须的高真空的低真空中的动作、小型且电极个数少并且形状易于加工、进而无需电子倍增管等放大的检测离子电流的离子检测方法。在该真空区域中以往使用离子迁移率分析单元,但通过本方式可以提供新的质量分析手段,可以针对各种应用显著地提高分析精度。使用在本发明中公开的一维离子阱。基于一维离子阱的质量分析单元可以囚禁大量的离子,可以提供能够在低真空中动作的质量分析方式,所以可以实现不使用高真空的质量分析单元。