公开(公告)号：CN304849729S

公开(公告)日：2018-10-12

申请号：CN201830202248.5

申请日：2018-05-07

Applicant: 株式会社日立国际电气

Designer： 冈嶋优作 ,  加贺谷彻 ,  平松宏朗 ,  江端慎也

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：基板处理装置用气体供给喷管。
2．本外观设计产品的用途：是使用于对在反应管内部沿垂直方向多级保持的基板进行处理的基板处理装置的气体供给喷管。
3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。

公开(公告)号：CN304839985S

公开(公告)日：2018-10-02

申请号：CN201830202247.0

申请日：2018-05-07

Applicant: 株式会社日立国际电气

Designer： 冈嶋优作 ,  加贺谷彻 ,  平松宏朗 ,  江端慎也

Abstract: 1．本外观设计产品的名称：基板处理装置用气体供给喷管。
2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品是使用于对在反应管内部沿垂直方向多级保持的基板进行处理的基板处理装置的气体供给喷管。
3．本外观设计产品的设计要点：在于产品的形状。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图。